一种位移放大微动平台的设计和特性分析.pdfVIP

2014年 8月 机床与液压 Aug．2014 第 42卷 第 l5期 MACHINETOOL HYDRAULICS Vo1．42No．15 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．15．025 一 种位移放大微动平台的设计和特性分析 李会文 ，吴晖辉 ，胡俊峰 (1．顺德职业技术学院机 电工程系，广东佛 山528333； 2．江西理工大学机 电工程学院，江西赣州341000) 摘要：为了增大微动平台的工作行程 ，设计一种新型位移放大机构，并对其静态和动态特性进行分析。采用杠杆原理 设计一种新型的二级微位移放大机构。采用有限元软件ANSYS对机构的柔度和放大倍数进行分析，分析结果表明所设计的 平台能放大Y方向位移，放大倍数为 8．81，而在 和 方向位移较小。对机构进行灵敏度分析表明该机构在 、Y方向的位 移灵敏度分别为 0．86 H m、8．82p~m／Ixm，说明机构在放大 方向的位移反应较灵敏。对机构进行模态分析，从振型可 以看出该机构能实现运动方向为 和Y方向平动，但在 方向的位移较小，并且预应力对机构的固有频率影响较小。研究 结果表明，所设计的机构具有较大的工作空间和较高的灵敏度。 关键词：位移放大机构 ；固有频率 ；灵敏度；柔度 中图分类号：TH703；TP274 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2014)15—101—3 PropertiesAnalysisandDesignofaDisplacementAmplificationM icro·stage LIHuiwen ．WUHuihui‘．HUJunfeng (1．DepartmentofMechanicalEngineering，ShundePolytechnic，FoshanGuangdong528333，China； 2．SchoolofMechanical ElectricalEngineering，JiangxiUniversityofScienceandTechnology， GanzhouJiangxi341000．China) Abstract：Inordertoimprovetheworkrangeofamicro—stage，anoveldisplacementamplificationmechanism wasdesigned，and itsstaticanddynamiccharacteristicswereanalyzed．Thenoveltwo—levelmicro—displacementamplificationmechanism wasdesignedby usingthelevelprinciple．ThefiniteelementsoftwareANSYSwasusedtoanalyzeitsflexibilityandmagnificationcharacteristics．The analysisresultsshow thatthedesignedstagecanamplifyYdirectiondisplacementandtheamplificationratiois8．81，whilethedis— placementsinthe and。directionsaresmal1．Theresultsofthesensitivityanalysisofthemechanism showsthatthedisplacementsen— sitivityfor andYdirectionis0．86，8．82respectively，anditillustratesthestageissensitiveinYdirection．Themodalanalysisofthe mechanism wascarriedout，theandplanemovementofthestagecouldberealizedbyseenfrom themodeshap