CVD金刚石膜高速机械研磨温度场的有限元模拟.pdfVIP

2011年 10月 第5期 金刚石与磨料磨具工程 0et．2011 第3l卷 总第 185期 Diamond AbrasivesEngineering No．5 Vo1．31 Seria1．185 文章编号：1006—852X(2011)05～0020—05 CVD金刚石膜高速机械研磨温度场的有限元模拟 王新玲 周 丽 黄树涛 许立福 (沈阳理工大学机械工程学院，沈阳110159) 摘要 CVD金刚石膜的高速机械研磨是一种高效的研磨方法，研磨区域的温度场分布直接影响金刚石膜 的研磨质量。本文采用三维热一力耦合有限元法对三种不同运动条件下的温度场进行分析。结果表明： 在不同的运动条件下，金刚石膜表面的温度场呈不均匀分布。当金刚石膜与砂轮作同向运动时，整个金 刚石膜的温度差最小。文中得出的结论可以为提高工件表面平整性提供理论基础。 关键词 CVD金刚石膜；温度场；机械研磨；有限元法 中图分类号 TG58 文献标志码 A DOI编码 10．3969／j．issn．1006—852X．2011．05．005 FiniteelementsimulationofthetemperaturefieldofCVD diamondfilmsduringhigh-speedmechanicalpolishing WangXinling ZhouLi HuangShutao XuLifu (SchoolofMechanicalEngineering，ShenyangLigongUniversity，Shenyang110159，China) Abstract High-speedmechanicalgrindingofchemicalvapordeposition(CVD)diamondfilmsisanefficient grindingmethod，and the temperaturefield ofgrindingregion affectsthe grindingquality ofdiamond films directly．In thispaper，thetemperaturefieldwasinvestigatedbyusing three-dimensionalthermo—mechanical couplingfiniteelementmethod underthree differentmovementconditions．Theresultsindicated thatthe distributionoftemperatureondiamondfilmswasinhomogeneousunderdifferentmovementconditions．Whenthe diamondfilmsand grindingwheelrotated in the same direction，the differenceoftemperatureofthewhole diamondfilmswasthesmallest．Theresultsofthispaperwouldprovideatheoreticalbasisto improvethe smoothnessofworkpiece． Keywords CVD diamondfilms；temperaturefield；mechanicalgrinding；finiteelementmethod 的广泛应用 J。因此，金刚石膜的研磨抛光成为必不 0 引言 可少的步骤。但是，金刚石膜的硬度大且厚度薄，整体 金刚石膜具有高硬度、高热导率、优异的耐磨性和 强度低，在研磨时不仅效率低而且容易破裂和剥落。 良好的绝缘性等特性 ¨j，在机械、电子和光学等领域具 近年来，国内外学者通过实验研