SiC陶瓷高温真空电阻炉的试验研究.pdfVIP

维普资讯 2007年4月 金刚石与磨料磨具工程 April．2007 总第 158期 第2期 Diamond＆AbrasivesEngineering Seria1．158 No．2 文章编号：1006—852X(2007)02—0050—03 SiC陶瓷高温真空电阻炉的试验研究 肖俊明 江世臻 (中原工学院河南 郑州 450007) 摘 要 SiC工程陶瓷是一种新型高性能材料。本文介绍了SiC陶瓷烧结用的高温真空电阻炉的结构及优化的电气控制 系统，并进行了高温烧成试验。该炉采用高纯石墨发热体 ，运行中采用低真空和充人氩气保护(未达到高温前)，以减少石 墨发热体的蒸发。采用阶梯式升温。试验结果表明，该设备可稳定运行在2500~C，短时可达2800~C，性能良好。发热体使 用寿命长。 关键词 SiC陶瓷；电阻炉；真空；石墨发热体；控制系统 中图分类号 TH6 文献标识码 A Experimentalstudyofhightemperaturevacuum furnaceforsinteringSiC ceramics XiaoJunming JiangShijing (ZhongYuanInstituteofTechnology，HenanZhengzhou450007，China) Abstract SiCengineeringceramicsisanewkindofhighperformancemateria1．Thispaperintroducedthestructureandoptimized electriccontrolsystem ofhightemperaturevacuum resistancefurnaceforSiC sintering．HightemperaturesinteringexperimentWas conducted．HighpuregraphiteWas usedasheatermateria1．Duringthesintering，low vacuum nadargoninductionWas adoptedto protecthtegraphiteheaterfrom evaporationdma age．SteppedheatingcurveWas adopted．Experimentalresultsindicatedhtat，hte furnacerunsteadilyat2500~C，thetransienttemperatureCna attainto2800~C，nadhtelifespna ofthergaphiteheaterWas pro— longed． Keywords SiCceramics；resistnacefurnace；vaccum；rgaphiteheater；controlsystem 1 概述 2 炉体结构 随着科学技术的发展以及能源、空间技术的提高， 25ooc=【高温真空电阻炉的结构为立式，由炉体、炉 要求所用的材料必须具有耐高温、抗腐蚀、耐磨损等优 盖、真空系统和水冷系统组成。图1为炉体的内部简 良性能才能在苛刻的条件下使用。SiC工程陶瓷正是 图，炉盖可借弹簧力开启，炉体设有一个观察孔可以观 具有这些高强度、高硬度、耐腐蚀、耐高温的特征已成 察炉内加热情况。 为尖端科学的重要组成部分，受到普遍的重视llJ。它 的制造需要在2500oC的高温下烧结而成。国外发达 国家如美国Carborundum公司，日本国的NGK公