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金属学与金属工艺
2010年 o6月 第 3期 金刚石与磨料磨具工程 June 2010
第30卷 总第 177期 Diamond AbrasivesEngineering No.3 Vo1.30 Serial177
文章编号:1006—852X(2010)03—0006—04
W—Mo合金精密镜面加工工艺的实验研究
关佳亮 肖小华 吴衍才 孙志杰 舒行军
(1.北京工业大学机电学院,北京 100124)
(2.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 ,绵阳621900)
摘要 为了研究w—M0合金材料精密加工的新途径,采用在线电解修整(ELID)精密磨削和超精密研抛
技术,对其进行了精密镜面加工实验,分析了此材料超精密镜面表面的形成机理。通过ELID磨削加工得
到了表面粗糙度 。0.020ixm加工表面,再以研抛压力为0.1~0.3N/cm,转速为60~100r/min等优化
研抛参数进行研抛加工,获得了表面粗糙度为R0.012 m精密镜面加工表面。实验表明:ELID精密磨
削加工是保证工件表面质量的基础,超精密机械研抛时研抛压力及转速等参数对工件表面质量起主要影
响作用。
关键词 W—Mo合金;ELID磨削;精密研抛;表面粗糙度
中图分类号 TG58 文献标识码 A DOI编码 10.3969/j.issn.1006—852X.2010.03.002
Research on precisionm irrormachiningtechnologyforW ——n oalloy
GuanJialiang XiaoXiaohua WuYancai SunZhijie ShuXingjun
(1.CollegeofMechanicalEngineeringandAppliedElectroncisTechnology,
BengUniversityofTechnology,Beng100124,China
(2.InstituteofMechancialManufacturingTechnology,CAEP,Mianyang621900,China)
Abstract Inordertofindanew wayformirrorprecisionmachiningofW —Moalloy,precision grindingand
ultraprecisionlappingexperimentswereconductedusingelectrolyticin-processdressing(ELID)technique.
Thegeneratingmechanism ofthemirrorprecisiongrindingofW —Moalloywasanalyzed.A surfaceroughnessof
R 0.020txm wasobtainedafterELID precisiongrinding.Then,attheoptimizedparameterssuchaslapping
pressure0.1~0.3N/cm androtationalspeed60 ~100r/min,amirrorprecisionsurfaceroughnessof
R 0.012 m wasachieved.TheresuhsprovedthatELID techniqueguaranteedthemachinedsurfacequality,
andthelappingpressureaswellastherotationalspeedwerethemaininfluencingfactorsduringultraprecision
lapping.
Keywords W ——Moalloy;ELID grinding;precisionlappingandpolishing;surfaceroughness
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