两种预处理对硬质合金金刚石涂层附着力的影响对比研究.pdfVIP

维普资讯 2003年 8月 金刚石与磨料磨具工程 Aug．2003 总第 136期 第 4期 Diamond AbrasivesEngineering Seria1．136 No．4 文章编号 ：1006—852X(2003)04—0005—40 两种预处理对硬质合金金刚石涂层 附着力的影响对 比研究 STIJDIY oN A CO [IlARISION oF TW O KINDSoFPREI】 rI]MENT EFFECTS ABOUT THE ADⅡESION oF 咖 aEIⅧ rED CA衄 IDE D ND COATD G CI TEI 苗晋琦 宋建华 赵 中琴 杨志威 佟玉梅 唐伟忠 吕反修 (北京科技大学材料科学与工程学院 中国北京 100083) MiaoJinqi SongJianhua ZhaoZhongqin YangZhicheng DongYumei TangWeizhong LuFanxiu (UniversityofScienceandTechnologyBejiing，8e0／ng 100083，China) 摘要 ：制约金刚石薄膜涂层工具走向市场化的关键问题是金刚石薄膜与硬质合金衬底的附着力低。困难来 自于硬 质合金的粘结相钴 。消除钴对涂层附着力不利影响的措施很多。其中，真空渗硼和施加铜过渡层处理是两种较为有效 的方法。本实验的 目的就是要 比较两种预处理对金刚石涂层 附着力 的影响。我们利用强 电流直流伸展 电弧等离子体 CVD设备对真空渗硼和施加铜过渡层处理的刀片同时进行了金刚石薄膜沉积。通过激光喇曼 、压痕和切削实验对其涂 层的附着力进行分析 、对比。结果表明，真空渗硼和施加铜过渡层处理均可有效地提高硬质合金金刚石涂层 的附着力 (未处理试样涂层的附着力600N。施加铜过渡层处理试样附着力 1500N，真空渗硼预处理试样附着力 ≥1500N)。但 两者相比较而言 ，真空渗硼预处理法具有更好 的效果。 关键词 ：预处理 ；等离子体；金刚石涂层 ；附着力 中图分类号 ：TG174．442 文献标识码 ：A Al~ raet．The key．whichrestrictsthediamond coatingtoolsfrom marketapplications．ishtelow adhesion between diamond caotingsandcementedcarbide substrates．Themain problem isfrom Co binderphase incementde carbide．Th erearemanywaysto eliminatetheadverseeffcetofCofordiamonddeposition．Amongthem ，vacuum bo ronizingandCuinterim layerpretreatmentarewtomost effectiveways．Ourgoalis to compare hte effce tofthe twomethodson adhesion ofCVD diamond caotingson cementde carbide substrates．Wedepositde thediamondfilmsinhtehighcurrentextendedareplasma equipmentforhteYG6cuttingtoolsofvacuum boroniziug andCuinterim layerpretreatrnent．Andhtenwenaalysednad compared theadhesionoftheircoatingbyI／lea／isofRaman，