抛光CVD金刚石的夹具设计及实验研究.pdfVIP

维普资讯 2007年 6月 金刚石与磨料磨具工程 June．2007 第 159期 第3期 Diamond AbrasivesEngineering Seria1．159 No．3 文章编号：1006—852X(2007)03—0036—04 抛光 CVD金刚石的夹具设计及实验研究 ． 马泳涛 陈五一 孙玉静 (1．北京航空航天大学机械工程及 自动化学院，北京 100083) (2．北京航空航天大学材料科学与工程学院，北京 100083) 摘 要 热铁盘法抛光CVD金刚石需要在800oC以上的真空环境下进行 ，抛光过程中金刚石的固定，常采用陶瓷胶粘结 的方法 ，该法在实际使过程中经常出现陶瓷胶粘结不牢而导致金刚石脱落。据此设计出一套高温真空环境下使用 的金 刚石夹具，在抛光厚度0．7mm的金刚石时，将其装夹在0．4mm深的凹槽内，留出0．3mm左右的高度以供抛光。加载 方式可以实现加热过程中无载荷 ，抛光过程中施加载荷。实验表明，该夹具在抛光过程中，可以实现金刚石的完全固定， 并能在273mm／s的抛光速度条件下稳定工作。在温度800℃，速度273mm／s，载荷2．54kg，抛光30rain的条件下，金刚 石表面粗糙度可由原始的R9．6 m抛光至R0．16 m。 关键词 抛光 ；CVD金刚石；夹具 ；实验 中图分类号 TQ164 文献标识码 A DesignofclampingfixtureforCVD diamondpolishingandrelatedexperiments MaYongtao ChenWuyi SunYujing (1．SchoolofMechanicalEngineeringAutomation，BeringUniversityofAeronauticsand Astronautics，Beijiag100083，China) (2．SchoolofMaterialScienceandEngineering，BejiingUniversityofAeronautcisandAstronautcis，Beijing100083，China) Abstract UsinghotironplatemethodtopolishCVD diamondrequiresvacuum atmosphereandhightemperatureusuallymor e ． than800℃ ．whilethediamondisstitchedtotheworkpieceholderbyceramicadhesive．Butthediamondbeingpolishedusually dropsofffromtheholderduetohtefailureofadhesive．A setofclumpingfixtureisdesignedtopolishdima ondunderhightemper- atureandvacuum atmosph