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基于MEMS技术的光通信器件及其市场前景.pdf
中国无线电电子学 电信技术类核心期刊
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基于!!# 技术的光通信器件及其市场前景
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摘要 12 345 ()(* (6789: ;=?@ABCDEFGHIJKL 3 ()(* 8; 7MNOPQ
RSTUV
关键词 ()(*++*, -./0++123++245++16*)7++86)++9:)
中图分类号 %!’# 文献标识码 (
的疑虑 与其他公司不同 的微镜采用 翘翘板
$ 引言 % $,)) K K
# 式的驱动方式$通过静电控制微镜的上下来实现光路
)*)+ 微电子机械系统 技术是在同一硅晶体衬
$ % ! ! !
的切换 如图 所示 商用化的有
底上将多种微光学元件 微定位器 微致动器和控制 @ LL JJ @$@$ #!
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及 光开关模块$ 光开关在一块硅基上
电路等单元单片集成在一起构成的微光机电系统$实 #! !@$ #!#!
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现光学平台的微型化$ 故也将其称为),*)+ % 现代 共集成了@!L 个微镜 光路最大损耗仅为A?M 其中
的工艺技术是在硅芯片 的工艺技术基础上 实际应用最多的LL 和 JJ 光开关模块同时具有全
)*)+ -.
通道上下载能力 如图 所示 到 公司倒闭前已
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发展起来的 很多)*)+ 的生产线其前身就是硅芯片
向全球超过 家以上的公司提供了数千只各类
的工艺生产线 和芯片工艺相比 工艺不仅 ’
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对传统平面二维光刻技术提出了更高的要求 还针对 )*)+ 光开关产品 包括 +08N8/6 .54O06 +598;745/
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不同需求$出现了独特的三维刻蚀$镂空等技术手段%
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