RAINBOW压电陶瓷与形状记忆合金的集成.pdfVIP

维普资讯 RAINBOW 压 电陶瓷与形状记忆合金 的集成 沈 星，刘永刚，裘进浩 (南京航空航天大学 智能材料与结构航空科技重点实验室，江苏 南京 210016) 摘要：采用物理气相沉积法在 RAINBOW压 电陶瓷上沉积 了形状记忆合金膜 ，分析了不同制备工艺对膜层的影 响，优化了工艺参数。划痕试验结果、XRD图谱 以及电镜照片表明，膜层质量较好，而且与RAINBOW压 电陶瓷 还原层能形成 良好的结合界面，为今后形状记忆合金(SMA)与RAINBOW压 电陶瓷的进一步集成设计提供了可 靠的依据。 关键词：RAINBOW压电陶瓷；物理气相沉积；形状记忆合金；集成 中图分类号：TG174．44 文献标识码 ：A 文章编号：0254-6051(2006)o8-0015-03 IntegrationofShapeMemoryAlloyandRAINBoW PiezoelectricCeramics SHENXing，LIUYong-gang，QIUJin-hao (AeronauticalScienceKeyLaboratoryforSmartM