可靠性测试评估技术.pdfVIP

北京宇丰凯电子有限公司 北京市东城区安定门东大街28号雍和大厦C座508室 电话：010传真：010 在线快速可靠性测试评估系统 电迁移评估系统 AEM 步入微细化、高性能时代 电迁移系统AEM 在高温环境下使用直流电流、直流脉冲电流以及交流脉冲电流来检测、评估 由于电迁移所引起的电阻值的增大和漏电电流。 系统提供为提高大规模集成电路 LSI 的微细布线以及 Flip chip 倒装焊点、薄膜材料的可靠性 所必不可少的电迁移评估。 AEM －1000 3 种应力电流 可加载直流电流、直流脉冲、交流 脉冲产生的应力电流，并可以 10 个通道为单位单独选择及设定测 试条件。 3 种测试模式 精确电流模式：使用精确电流发生 器测量电阻。应力加载模式：加载 应力电流同时测量电阻。此外还配 备有漏电测试模式。 1 TEG/1 恒定电流电源控制 每个通道（TEG ）独立提供加载恒 定电流应力的电源。每个 TEG 独 立进行故障检测，对发生故障的 TEG 停止施加应力。 用途 以 TEG 板为单位设定评估条 电迁移评估 件 ·LSI 微细间距连线/铜连线/铝连线评估 每个试验箱可同时进行 100 个 ·倒装焊点/UBM 评估 TEG 测试评估。每块 TEG 板可装 ·高密度电流下使用的金属材料评估 载 10 个 TEG，每个试验箱可放 10 块TEG 板。应力电流可以设定、 加载于每块 TEG 板，每块板均可 进行独立的不同条件测试。 高精度评估 稳定功率 3W 输出的恒定电流源， Kelvin 4 端子测试法保证高精度 测试。 备有专用试验箱，最高温度可 达＋400℃ 气槽式试验箱温度可选＋250℃、 ＋350 ℃及＋400 ℃三种型号。并 可提供 DHB （直接加热板）方式。 1 个 AEM 系统可控制不同设 定条件的多个试验箱 每个试验箱可任意设定、控制温 度。该系统控制部分可以管理和控 制不同设定条件下多个试验箱中 所进行的测试。 系统结构图 系统控制部分 应力单元 单元 1 打印机 不停电电源 GP-IB CPU 板 应力板 信号线 试验箱 1 控制部分 100 TEG LAN 恒定电流源×10ch Windows 2000 (10 TEG 板） 扫描仪 GP-IB 测量控制部分 试验箱 2 单元 2 （可选） 100 TEG (10 TEG 板） 精密电流发生器