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双探针原子力显微镜针尖对准方法研究.pdf
第36卷第l期 计 量 学 报 V01．36．№1
2015年1月 ACTAMETROLOGICASINICA January，2015
issn．1000-1158．2015．01．01
doi：10．3969／j
双探针原子力显微镜针尖对准方法研究
张华坤1， 高思田1’。， 李 伟2， 施玉书2， 王鹤群2
(1．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009；
2．中国计量科学研究院，北京100029)
摘要：双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(cD)测量的影响。
测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点，为实现双探针纳米级对准，提出一种渐进式平面
扫描方法。首先，通过视觉图像引导两个探针对准到l斗m以内。然后，两个探针继续接近，同时探针A在yoz平
面内对探针B扫描成像，并逐步缩小扫描范围和扫描步进，得到其针尖的纳米级坐标(yB，z。)。最后，将探针A在
y和z方向分别移动至yB和zB，在x方向继续接近探针B直至两探针接触。实验证明，该方法可有效地实现双探
针对准，且对准精度为10nm。
关键词：计量学；双探针；原子力显微镜；对准方法；关键尺寸
中图分类号：’rB92 文献标识码：A 文章编号：1000一1158(2015)01旬00l旬5
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(1．School ScienceaIld of
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Anhui 2． NationalInstituteof
230009，China； Metmlogy，Beijing100029，China)
Abst髓嵋t：Dual measurementcan eliminatetheef玷ct0f oftraditionalatomicforce
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