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上海MOCVD装备技术及产业发展分析 MOCVD是LED生产过程中的核心装备，是决定LED产业发展技术水平的关键因素。MOCVD装备技术创新已被列入上海市科技“十二五”规划重大任务。“十一五”以来，上海市科委在LED材料、芯片、装备等领域前瞻部署了一系列研发项目，积极打造完整的LED技术链和产业链，为上海MOCVD装备的技术创新和产业发展提供了良好的环境和基础。近年来，上海在MOCVD装备领域取得了可喜的突破，已涌现出了数家各具技术特色和优势的MOCVD装备研发企业。近期，我们深入企业开展调研，系统梳理了上海MOCVD装备技术及产业发展现状，并对MOCVD装备行业的发展形势、发展环境和发展前景作了全面分析。调研结果汇报如下： MOCVD装备市场需求前景 从2009年始，在LED背光源显示、照明等巨大市场的推动下，全球LED芯片生产高速增长，生产规模迅速扩大。2011年第二季度以来，由于产业发展周期因素（背光市场需求已充分释放），LED产业进入了产品结构调整阶段，芯片产能数量增长幅度有所放缓趋于合理，而在技术水平、产品品质等方面的竞争更为激烈。据McKinsey公司预测，目前LED产业在通用照明领域已经走上了快速增长的轨道，2020年之前LED光源将占据全球照明市场主导地位。随着LED在通用照明领域的大规模应用，可预期LED芯片即将迎来新一轮需求快速增长的高峰期。 LED全球照明市场份额预测（McKinsey） LED产业近年来的迅猛发展导致作为产业核心设备的MOCVD装备需求量2010年到2011年上半年呈井喷式增长（仅中国2010年一年的设备需求量超过200台，比过去近20年的总装机容量还多50台），出现了严重的供不应求的局面。2011年下半年，随着LED产业整体进入调整期和前期设备产能的逐渐形成，MOCVD装备市场增长幅度有所回落。预期随着LED产业的进一步发展和MOCVD技术的进一步成熟，MOCVD装备市场在未来5-10年还将会迎来两到三次显著增长的窗口期，最近的窗口期可能在2013年下半年到来。 我国MOCVD设备装机数量增长趋势（Goldman Sachs） MOCVD装备国际国内竞争态势 MOCVD装备产业国际竞争情况 MOCVD装备产业当前在全球范围内仍是一个新兴的产业，面对近年来需求的迅猛增长，技术和产业都尚未充分成熟。2005年之前，由于LED产业总体规模较小，设备更新较慢，进入的设备厂家不多，全球MOCVD设备主要制造商仅有德国的Aixtron、美国的Veeco、日本的大阳日酸株式会社等三家企业。由于日本禁止出口的政策，国际市场几乎都被Aixtron（占据60%市场份额）与Veeco（占据近40%市场份额）垄断。随着2006年之后全球LED产业的迅速升温，对MOCVD装备需求量迅速增加，使三家企业的产值飞跃，设备的技术升级步伐也大大加快。然而时至今日MOCVD装备技术仍未进入成熟阶段，现有设备产品仍未能适应LED产业大规模、自动化、高质量、低成本生产的需求，在LED芯片生产中普遍存在着装备与工艺脱节的问题，MOCVD装备制造厂商对于下游LED芯片厂家实际生产中面临的诸多问题仍然缺少有效解决方案。近年来Aixtron与 Veeco等企业开始积极实施专利战略，试图阻止后进入的厂商竞争，但因LED产业技术变革迅速，很难形成实质性的专利壁垒。 总体而言，目前国际MOCVD设备市场仍处于有效竞争阶段，领先者的优势显著但不稳固，后发者正面临着追赶和超越的关键机遇窗口。技术创新、服务创新和业态创新三者的结合，将成为奠定明日产业优势的关键因素。 国际主要MOCVD装备供应厂商技术对比情况 大规模生产能力 产品质量 生产成本控制 Veeco 自动化程度较高，设备可连续工作，生产效率较高 相对较不稳定 炉体技术特点决定了原料用量比较浪费 Aixtron 需频繁停机清洗，生产效率相对较低 相对Veeco而言较好，但仍不能满意 原料用量较为节省 大阳日酸 由于技术路线限制，单炉只能做到三到五片，无法大规模生产 产品质量最优，良品率高 生产成本介于Veeco和Aixtron两者之间 总体评价 装备的自动化水平仍有待提升以适应大规模生产需求 目前国际主流的Veeco和Aixtron设备都达不到满意的生产质量 生产成本仍有进一步控制的空间 MOCVD装备国内布局与发展情况 在科技兴国战略指引下，从“九五”到“十一五”期间国家先后对MOCVD设备的研制组织了多次攻关。但由于市场整体需求的不充分，技术也没有完善到适应产业化生产需求，前期科研成果没有走向良好的产业化，但也为我国自主MOCVD装备的发展打下了重要的技术和人才基础。 随着“国家半导体照明工程”于2003年正式实施，MOCVD设备国产化已被列入国家层面的技术创新重点支