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第29卷，第10期 光谱学与光谱分析 200 and October，2009 9年10月 SpectroscopySpectralAnalysis 基于可调谐半导体激光吸收光谱的氧气测量方法的研究 张 帅，董凤忠’，张志荣，王 煜，阚瑞峰，张玉钧，刘建国，刘文清 中国科学院环境光学与技术重点实验室，中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽合肥230031 摘要02是T业过程中广泛应用的蕾要气体，在工业生产环境下实现02浓度的快速在线检测对提高燃 烧效率和节能减排具有重要的意义。可调谐半导体激光吸收光谱谐波探测技术是一种具有高灵敏、高选择 性、快速响应等特点的气体检测新技术，该技术利用了半导体激光器的可调谐和窄线宽特性，通过精心选择 待测气体的某条吸收线町排除j乓他气体的干扰，实现待测气体浓度的高灵敏快速在线检测。文章以可调谐 分布反馈 Distributedfeedback，DFB 半导体激光器作为光源，通过波长调制方法对760nm附近氧气某一吸 收线的二次谐波信号测量，从而实现了对氧气浓度的快速在线检测。系统指标达到：检测范围0．01％～ 20％；检测精度0．1％；长期稳定性l％。 关键词 可调谐二极管激光吸收光谱 TDLAS ；工业过程控制；02浓度在线监测 中图分类号：0443．1文献标识码：A 技术的突破，近红外TDLAS高灵敏在线检测技术已经实现 引 言 了从实验窒到产品化的过渡n5’导”]。本文基于TDLAS技 术，以760nn-i的DFB激光器作为光源，输出功率为lo 近年来，钢铁冶金、石油化工、电力、造纸、水泥和生化 rnW，采用波长调制 WMS 结合多次反射池对氧气进行检 制药等行业的快速发展以及随之衍生的环境污染对我国可持 测【l“，通过检测760nlxl附近 2的单根吸收线实现了对0z 续发展带来的压力，迫切需要对其生产过程的分析和过程控 浓度的快速在线监测。 制能力进行提升，节能减排已成为我国的国策。Q作为T业 生产燃烧过程中最重要的助燃气体，对其浓度进行在线检测 1实验原理 并优化燃烧过程，成为节能减排的重要手段之一。目前工业 在线分析 2浓度普遍采用的电化学传感器存在诸多缺陷： 1 难以消除其他气体的于扰； 2 无法消除被测环境中粉次反射池后的光强为[12] 尘、湿度等对传感器头的污染所带来的测母误差； 3 无法 1 实现在线标定，系统维护工作量大。光学在线检测气体浓度 其中R为多次反射池反射面的反射率，珂为来回反射的次 数，S D表示分子在温度丁波长处的吸收线强，gL v 为气 已被美旧环保署 UsEPA 和欧洲环境保护署认可作为技术 标准，光学和光谱学技术已成为当前污染源排放监测的发展 方向和未来5～20年的主流技术。可调谐二极管激光吸收光 的压力，C为分子数浓度，L为经过多次反射池多次反射后 谱 TDLAS 技术具有非侵入式原位快速在线测量和遥测等的总光程。 的特有优势，已日益广泛地应用于测邑气体污染物的浓度、 半导体激光器的输出波长很窄 一般小于几MHz 远远 有毒气体泄漏遥测、大气质量监测等Ll。5J。 小于气体吸收线宽 常温常压下为几百MHz ，且具有可调 TDLAS技术最早在20世纪70年代出现，早期大多采谐特性，通过改变激光器的T作温度和注入电流町改变j￡输 用铅盐激光器．但是凶其必须在低温环境下运转，设备复杂 出波长。通常在选定待测气体的某一条吸收线后，TDI。AS 价格昂贵，大大限制了其应用发展的步伐。随着20世纪80首先通过调节激光器的．1二作温度和I：作电流。将激光器的输 年代初由Reid等[6J]提出采用调制及潴波探测技术可大大提出波长固定在已选定的气体吸收线附近，然后给激光器注入 高TDLAS的探测灵敏度和近年来近红外DFB激光器生产一定频率的锯齿波电流使激光频率扫描过整条吸收谱线。当 收稿日期：2008—10-08。修订日期：2009—01—12 基金项目：国家“863”计划项日 2007AA062420 资助 *通讯联系人 LTI 作者简介：张帅，1981年生。中国科学院安徽光学精密机械研究所硕士研究生 e-mail：fzdong@aiofm．at 万方数据 2594 光谱学与光谱分析 第29卷 光束通过待测气体后，测最透过的光信号可获得完整的“单 用线性最小二乘法拟合和滤波估值等方法，利用已知浓度气 线吸收光谱”信息。由于气体在近红外波段的吸收很小，激 体的标准二次谐波谱线和待测气体所测量二次 皆波信号进行 光器的强度噪声是限制直接吸收光谱气体分析技术检测灵敏 比对处理[8J2|，得到气体浓度。 度的主要闪素，它呈现f 明显的1／f噪声特性。通过给激光3．2试验的结果与分析 器注入数kHz的正弦调制信号并使用锁相放