单晶炉勾形磁场设计参数实验验证.pdfVIP

ofXi’an of No．3 296 西安理工大学学报Journal UniversityTechnology(2005)V01．21 文章编号：1006—4710(2005)03—0296—05 单晶炉勾形磁场设计参数实验验证 安 涛，高 勇，李守智 (西安理工大学自动化与信息工程学院，陕西西安710048) 摘要：通过模拟方法得到8英寸单晶炉(16英寸坩埚)勾形磁场的设计参数，并对磁场参数的模 拟结果进行了实验验证。结果表明：磁场参数及其分布均满足晶体生长要求，磁场参数的模拟结 果与实验结果吻合较好。该模拟方法可用于勾形磁场的实际设计。 关键词：有限元；勾形磁场；单晶炉；磁感应强度 中图分类号：TPl5 文献标识码：A Validationof Parametersof Fieldin Furnace Design CuspMagneticMono-Crystal