a smart single--chip micro--hotplate--based gas sensor system in cmos--technology（智能单片机板基于气体传感器系统在cmos技术）--—【外文翻译】.docVIP

译文 智能单片机板基于气体传感器系统在CMOS技术 摘 要:本文提出了一种关于单片机的化学气体传感器系统，其制造工艺CMOS技术结合了CMOS微处理技术。该系统包括金属氧化物覆盖（二氧化锡）微型热板、必要的驱动器及信号调节电路。二氧化锡层的敏感操作温度在200--350 ℃之间，在芯片上的温度控制器调节温度膜高达350 ℃，特别带有0.5 ℃的加热器设计，用来实现膜温度达到350 ℃、供电电压达到5伏的目的。加热器的这种设计是为了使热板在加热的过程中温度能够均匀分布均匀受热（最高温度在1-2％波动）。温度传感器，内外膜是良好的热绝缘膜，它之间的的电路面积及大部分芯片在350 ℃膜温度时，芯片温度上升的最大值6 ℃。对数转换器包含了测量电阻变化时二氧化锡气体泄漏的一系列4个数量级。一个模拟硬件描述语言（AHDL）模型膜发展使模拟系统完整化。气体检测证明，试验中的气体检测浓度有所限制，二氧化碳低于1浓度和甲烷浓度低于100 。 关键词：金属氧化物气体传感器；模拟IC设计；AHDL ；CMOS兼容微处理器；微型热板 引言 对于CMOS微处理有一种强烈的兴趣，特别是在微型热板的气体传感器方面，原因是小型的单片机传感器和电路提供了巨大的优势，如低电量耗费，潜在的成本低并采用新的动态传感器运作模式。