第章 光学干涉测量技术.ppt

* 武汉大学 电子信息学院 传统的干涉测量方法通过对干涉仪所获取的干涉条纹得到波面波差空间分布的相关信息。受各种因素，特别是干涉条纹判读方法误差较大的限制，传统的干涉测量方法只能做到 λ/10 ~ λ/20（PV）的测量精度。为提高干涉测量精度，可以从多幅相位变化的干涉图中解算波面各点的相位分布，其测量不确定度可达 λ/50。 * 武汉大学 电子信息学院 一、移相干涉测量的基本技术 （一）移相干涉测量原理 在干涉仪的参考光路中引入一个随时间变化的位相调制，从干涉场内各点交变的位相差信号中提取出多幅不同的移相干涉图图形，采用相减或相除等信号处理方式，能有效去除干涉测量系统中的一些误差，包括固定的系统误差、缓变的气流引起的光程差、振动和温度场等随机误差对测量的影响。 在参考镜上连接一压电晶体（PZT），通过驱动电路带动参考镜产生几分之一波长量级的光程变化，使干涉场产生变化的干涉条纹。这时的光强分布可表示为： 式中Id(x,y)是干涉场的直流光强分布，Ia(x,y)是干涉场的交流光强分布；?(x,y)是被测波面与参考波面的位相差，δ(t)是两支光路随时间变化的位相差。 * 武汉大学 电子信息学院 采集多幅位相差变化的干涉图的光强分布，用适当的数值算法解算出?(x,y)。对于给定的某点(x,y)，由于Id(x