掺杂硅纳米线的光电特性.pdfVIP

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中国有色金属

维普资讯 第 l4卷专辑 l 中国有色金属学报 2004年 5月 V01.14Sl TheChineseJournaJofNonferrousMetals M ay 2004 文章编号 :1004—0609(2004)S1—0398—06 掺杂硅纳米线的光电特性① 唐元洪 ,裴立宅 (湖南大学 材料科学与工程学院.长沙 410082) 摘 要 :采用激光烧蚀法制备了磷掺杂硅纳米线和硼掺杂硅纳米链,并运用透射电子显微镜 (TEM)、近边x射 线吸收精细结构光谱 (NEXAFS)、x射线光电子能谱 (XPS)及场发射 (FE)测量等对其进行 了研究 。结果表明:硅 纳米线包覆在二氧化硅层中及其核心由磷掺杂的晶体硅构成,磷不仅存在于硅纳米线的核心内,也存在于二氧化 硅与硅核心的相界面上;硼掺杂硅纳米链 的外部直径约为 15nm,由直径 l1nm 的晶核和 2nm 的无定形氧化物 外层构成的晶格所组成 ,其粒间距为 4nm,硅纳米粒子链的阀值场强为 6V/k~m,优 于未掺杂 的硅纳米线的阀值 场强 (9V/k~m)。x射线光吸收谱可以补充提供常规电流一电压测量得不到的信息 ,并提示掺杂分布的细节。 关键词 :硅纳米线;硅纳米链 ;掺杂;光电特性 opt0electr0niccharacteristicsofdopedSinanowires TANG Yuan—hong,PEILi—zhai (CollegeofMaterialsScienceandEngineering,HunanUniversity,Changsha410082,China) Abstract:Phosphorus—dopedsiliconnanowire(P—SiNW)andboron—dopedsiliconnanoparticlechain(B-SiNC)syn— thesizedbyusinglaserablationmethodwereinvestigatedbytransmissionelectronmicroscopy(TEM ),high resolu— tion transmission electron microscopy(HRTEM ),nearedgeX—ray absorption fine structure spectroscopy(NEX— AFS),X—rayphotoelectron spectroscopy(XPS)andfieldemission measurementetc. Theresultsshow thatthe nanowiresareencapsulatedwithinasilicalayerandthatthecoresofthenanowiresarecrystallinesilicondopedwith phosphorus.PhosphorusisfoundtObeinsidethecoreoftheSiwireandattheinterfaceofsilicaouterlayerandsili— concore.TEM andHRTEM show thattheouterdiametersofthenanoparticlesarearound15nm andthenanoparti— cleshaveperfectlatticeswith 11nm crystallinecoreand2nm amorphoussilicaouterlayerwhilethedistanceofthe interparticlesis4nm.Field—emissionmeasurementshowth

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