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中国有色金属
维普资讯
第 l4卷专辑 l 中国有色金属学报 2004年 5月
V01.14Sl TheChineseJournaJofNonferrousMetals M ay 2004
文章编号 :1004—0609(2004)S1—0398—06
掺杂硅纳米线的光电特性①
唐元洪 ,裴立宅
(湖南大学 材料科学与工程学院.长沙 410082)
摘 要 :采用激光烧蚀法制备了磷掺杂硅纳米线和硼掺杂硅纳米链,并运用透射电子显微镜 (TEM)、近边x射
线吸收精细结构光谱 (NEXAFS)、x射线光电子能谱 (XPS)及场发射 (FE)测量等对其进行 了研究 。结果表明:硅
纳米线包覆在二氧化硅层中及其核心由磷掺杂的晶体硅构成,磷不仅存在于硅纳米线的核心内,也存在于二氧化
硅与硅核心的相界面上;硼掺杂硅纳米链 的外部直径约为 15nm,由直径 l1nm 的晶核和 2nm 的无定形氧化物
外层构成的晶格所组成 ,其粒间距为 4nm,硅纳米粒子链的阀值场强为 6V/k~m,优 于未掺杂 的硅纳米线的阀值
场强 (9V/k~m)。x射线光吸收谱可以补充提供常规电流一电压测量得不到的信息 ,并提示掺杂分布的细节。
关键词 :硅纳米线;硅纳米链 ;掺杂;光电特性
opt0electr0niccharacteristicsofdopedSinanowires
TANG Yuan—hong,PEILi—zhai
(CollegeofMaterialsScienceandEngineering,HunanUniversity,Changsha410082,China)
Abstract:Phosphorus—dopedsiliconnanowire(P—SiNW)andboron—dopedsiliconnanoparticlechain(B-SiNC)syn—
thesizedbyusinglaserablationmethodwereinvestigatedbytransmissionelectronmicroscopy(TEM ),high resolu—
tion transmission electron microscopy(HRTEM ),nearedgeX—ray absorption fine structure spectroscopy(NEX—
AFS),X—rayphotoelectron spectroscopy(XPS)andfieldemission measurementetc. Theresultsshow thatthe
nanowiresareencapsulatedwithinasilicalayerandthatthecoresofthenanowiresarecrystallinesilicondopedwith
phosphorus.PhosphorusisfoundtObeinsidethecoreoftheSiwireandattheinterfaceofsilicaouterlayerandsili—
concore.TEM andHRTEM show thattheouterdiametersofthenanoparticlesarearound15nm andthenanoparti—
cleshaveperfectlatticeswith 11nm crystallinecoreand2nm amorphoussilicaouterlayerwhilethedistanceofthe
interparticlesis4nm.Field—emissionmeasurementshowth
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