粉浆浇注制备大尺寸ITO靶材工艺.pdfVIP

第24卷第 9期 中国有色金属学报 2014年 9月 Volume24Number9 TheChineseJournalofNonferrousMetals September2014 文章编号：1004-0609(2014)09—2333．06 粉浆浇注制备大尺寸 ITO靶材工艺 钟景明 ， ，岳 坤 ，孙本双 一，王东新 ， (1．西北稀有金属材料研究院 宁夏特种材料重点实验室，石嘴LJ【753000 2．国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心，石嘴山 753000； 3．中色(宁夏)东方集团有限公司，石嘴山 753000) 摘 要：研究分散剂、pH值和固相含量对铟锡氧化物(ITO)浆料稳定性、流变性的影响，以及粉浆浇注压力对坯 体密度的影响。结果表明：当聚丙烯酸(PAA)质量分数为 0．5％、聚乙二醇(PEG)质量分数为 1．5％、pH值为 9、ITO 固相含量为70％(质量分数)时，调制的浆料的流变性和稳定性最佳，并在注浆压力为 1．5MPa的条件下制备出相 对密度为 68％的高密度粉浆浇注坯体；对该素坯进行常压烧结制备了相对密度高于 99．5％的ITO靶材。对靶材的 组织与成分分析发现，粉浆浇注 ITO靶材的结构为氧化锡完全固溶于氧化铟的单一立方 In20结构，同时In、sn 和0元素分布均匀，无元素富集现象，晶粒尺寸均匀，完全满足八代以上镀膜线的应用技术要求。 关键词：ITO靶材；粉浆浇注；浆料性能； 微观组织 中图分类号：TB34 文献标志码：A FabricationprocessoflargesizeITO targetmaterialsby slipcasting ZHONG Jing．ming，一，YUEKun。SUN Ben—shuang一，WANG Dong—xin ， (1．NingxiaKeyLaboratoryforSpecialMetalMaterials， InstituteofNorthWestRareMetalMaterials，Shizuishan753000，China； 2．NationalEngineeringResearchCenterofTantalum andNiobium Materials，Shizuishan753000，China； 3．CNMCNingxiaOrientGroupCo．，Ltd．，Shizuishan753000，China) Abstract：Theeffectsofadditives．pHvalueandsolidcontentonthestabilityandrheologyofindium tinoxide(ITO) slurryweresutdied，andtheeffectofslipcastingpressureonthebulkdensiytwasinvestigated．Theresultsshowthatthe slurrywim70％IT0solidcontent(massfraction)isverystableandeasytoofrmtheITOgreen-bodVwitharelative densityof68％undercastingpressureof1．5MPawhentheparametersoffomr ingslurryarefixedatw(PAA)0．5％ (PAAispolyacrylicacid)，w(PEG)