复合稀土氧化物-钼-铼金属陶瓷阴极的次级发射性能.pdfVIP

维普资讯 第 14卷第 1期 中国有色金属学报 2004年 1月 Vo【．14No．1 TheChineseJournalofNonfcrrousMetals Jan． 2004 文章编号 ：1004—0609(2004)01—0018—05 复合稀土氧化物一钼一铼金属陶瓷阴极的次级发射性能① 杨 飒 ，周美玲，王金淑，李洪义，张久兴 (北京工业大学 材料科学与工程学院，北京 100022) 摘 要：研究了复合稀土氧化物一钼一铼金属陶瓷阴极的二次电子发射系数和抗暴露大气性能，对发射后的表面 进行了表面分析，并与单元、复合稀土一钼金属陶瓷阴极进行了对 比。研究结果表明：加入微量铼的复合稀土氧化 物一钼金属 陶瓷 阴极 的二次 电子发射系数可提高 8 ，其最大次级发射系数 为 2．65，且具有较好 的抗暴露大气 性能 。 关键词 ：铼；稀土氧化物；钼；次级电子发射 中图分类号 ：TG146．4 文献标识码：A Secondaryemissionpropertiesof M ocathodedoped with RE oxidesand Re YANG Sa，ZHOU Mei—ling，W ANG Jin-shu，LIHong-yi，ZHANG Jiu—xing (SchoolofM aterialsScienceandEngineering， BeijingPolytechniclJnivershy，Beijing100022，China) Abstract：Propertiesofsecondaryemissionandatmosphereexposurecharacteristicformolybdenum cathodedoped withrareearth(RE)oxidesandRewereinvestigated．M icrostructuresofthesinterwereanalyzedusingSEM ，and comparedwithoneofmolybdenum cathodedopedwithdifferentREoxidessinter．Theresultsshow thatthesecond— aryemissioncoefficientoftheRE—Mosintercanbeincreasedby8％．Themaximum secondaryemissioncoefficient ( )is2．65．Theemitterpossessesthebetterpropertyofexpositioninatmosphere． Keywords：Re；rareearthoxide；molybdenum；secondaryemission 随着真 空电子设备 的 日益发展 ，磁控管在广 加入铼可提高热 电子发射 的稳 定性 1【，但在复合 播 、通讯 、军事 、空间领域、工业及 民用 的微波设 稀土氧化物一钼阴极材料 中加入铼 的相关研究 尚未 备中占有越来越重要 的地位。阴极是磁控管 的心 见报导。为此 ，本文作者研究了复合稀土氧化物一 脏 ，目前应用于上述领域的大功率磁控管阴极主要 钼一铼金属陶瓷阴极 的二次 电子发射系数、抗暴露 为 Ba—W 阴极 ]、Th—w 阴极l2和 1rIa阴极 ]。由 大气等性能。结果表明，加入微量铼的复合稀土氧 于 Ba—W 阴极制作工艺复杂，对制备环境要求高， 化物一钼金属陶瓷阴极 的二次电子发射系数可提高 且为厚膜阴极 ，耐轰击性能差。Th—W 阴极中的Th 8 ，其最大次级发射系数 为 2．65。 有放射性而逐步被淘汰。Ir—Ia阴极对制备环境 、工 艺要求高 ，成本 高。