过滤阴极真空电弧制备非晶金刚石红外保护膜.pdfVIP

维普资讯 第 15卷第 11期 中国有 色金 属学报 2005年 l1月 VoI_l5NO．11 TheChineseJournalofNonferrousM etals NOV． 2005 文章编号 ：1004—0609(2005)11—1795—05 过滤阴极真空电弧制备非晶金刚石红外保护膜① 韩杰才，朱嘉琦 (哈尔滨工业大学 复合材料与结构研究所 ，哈尔滨 150080) 摘 要 ：采用过滤阴极真空电弧技术．通过施加不同衬底偏压制备了非晶金刚石薄膜。利用纳米压痕仪和光谱 椭偏仪测试薄膜的力学性能和光学性能，利用 KIA—Tencor台阶仪测试硅衬底在薄膜沉积前后 的曲率半径 ，并根 据 Stoney方程计算薄膜应力，利用可见光拉曼光谱和电子能量损耗谱研究了薄膜的微结构。实验表明：当村底负 偏压为 8oV时，薄膜的硬度、弹性模量、光学带隙和折射率均达到最大值，随着偏压的升高或降低，各参量分别 降低 ；此时，薄膜 的s 杂化含量最高，斜坡系数却最小；在宽红外波段范围内，薄膜的消光系数趋近于零 ，即红 外透明；另外，薄膜具有接近金刚石的高硬度和高模量 ，并且其微结构 以及光学和力学性能可调 ，因此是一种优 异 的红外光学窗 口增透保护薄膜材料 。 关键词 ：非晶金刚石：过滤阴极真空电弧；红外保护膜 中图分类号 ：()461．21 文献标识码 ：A Amorphousdiamondfilm sdeposited byfilteredcathodicvacuum arctechnologyasinfrared protectivecoatings HAN Jie—cai，ZHU Jia—qi (CenterforCompositeMaterials，HarbinInstituteofTechnology，Harbin 150080，China) Abstract：Amorphousdiamond (a—D)filmsdepositedbyfilteredcathodicvacuum arc(FCVA)technologywithdif— ferentsuhstratebiaswereinvestigated．Themechanicalpropertieswerecharacterized withnanoindenterand the stresswascalculatedusingStoneyequation．Theopticalpropertieswereanalyzedbyspectroscopicellipsometryand themicrostructurewasinvestigatedbyvisibleRamanspectroscopyandelectronenergylossspectroscopy．Themaxi— malhardnessandelasticmodulusconsortingwiththehigheststressarepresentedasthenegativesubstratebiasis 8OV．W iththebiasincreasesordecreases，hardness，elasticmodulusandstressdescendgradually．However，the high impingingenergybenefitstheadhesionbetweenthefilmsandthesubstrate．Additionally，theopticalgapand therefractiveindexexhibi