SmCo薄膜的不均匀晶化及其磁性能.pdfVIP

维普资讯 第 14卷第 4期 中国有色金属学报 2004年 4月 VoI_14 No．4 TheChineseJournalofNonferrousMetals Apr． 2004 文章编号 ：1004—0609(2004)04—0587—04 SmCo薄膜的不均匀晶化及其磁性能① 祝要 民h。，李晓园 ，宋晓平 ，陈 强 (1．西安交通大学 理学院，西安 710049；2．河南科技大学 材料工程系，洛阳 471039) 摘 要 ：采用不同的磁控溅射和回火工艺制备了SmCo磁性薄膜。用能谱仪对不同工艺溅射的样品进行了化学 成分分析；用透射 电子显微镜和振动样品磁强计 (VSM)研究了薄膜的显微结构和磁性能。结果表明：溅射态的薄 膜为非晶态并具有软磁特征 ；当回火温度位于40O～ 450℃之间时，薄膜的微观组织均匀细小 ，且 随着 回火温度 增加 ，矫顽力增大 ，并在 450℃回火的样品中得到了最大 的矫顽力。回火温度 500℃后 ，薄膜微观组织中晶粒出 现 了不均匀粗化 ，矫顽力明显降低 。 关键词 ：SmCo薄膜；晶化；显微组织；磁性能 中图分类号：TM273 文献标识码 ：A Asymmetrycrystallizationandmagnetism ofSmCofilm ZHU Yao—min～ ，LIXiao-yuan ，SONG Xiao—ping ，CHEN Qiang (1．ScoolofScience，XianJiaotonguniversity，Xian710049，China； 2．MaterialsScienceandEngineering，LuoyangInstitute，Luoyagn471039，China) Abstract：AmorphousSmComagneticfilmswerefabricatedbymagnetronsputtering．Themicrostructureswere observedbytransmissionelectronmicrographsandmagneticpropertiesweremeasuredbyvibratingsamplemeasure— ment(VSM )．TEM micrographsofthefilmsshow thatthemicrostructuresarechangedwiththepost—depositionan— nealing temperatures．Themicrostructuresofthefilmsbecomenon-uniform astheannealing temperatureishigher than500 ℃ ．VSM measurementsrevealthatthefilmsreach an optimum magneticpropertiesastheannealing processis450℃ 。30min． Keywords：SmCofilm；crystallization；microstructure；magneticproperties 稀土一过渡族 (R—T)化合物磁性薄膜在微 电子 较少。本 文作 者采用 直 流磁控溅 射工 艺制 备 了 装置和微机械上具有巨大的潜在应用价值口]。因 SmCo磁性 薄膜 ，研究 了制备和 回火工艺条件对 此 R—T磁性薄膜的制备和性能研究引起 了广泛的 SmCo的微观组织和磁性能的影响规律 。 兴趣 剖 。特别是用于磁记录等方面具有垂直磁各 向异性的 R-T薄膜更是研 究 中的热点 引。其 中 1 实验 SmCo磁性薄膜具有优异的磁性能，可能成为最有