从研究用科学仪器到.pdfVIP

从研究用科学仪器到 半导体工业用计量工具 广泛的应用... CAMECA的科学仪器测量固体 材料科学应用: 金属 表面的元素（如铜、氧、氢、 镍基超合金的一个单晶中铬元 素高空间分辨 X射线图像。 硅，等等）和同位素（如铀的 由场发射电子探针显微分析仪 235U/238U）的成分并给出其分 (FEG EPMA） 给 出 ， 型 号 SXFiveFE 。 布图像。与传统光学显微镜使 数据来 自 Dr.-Ing. I. Lopez-Galilea, 用可见光（光子）不同的是， Ruhr-Universität Bochum. 这里用通过电子、离子或X射线 对非常小量（微米或纳米体 积）的材料进行分析。 材料应用: 核材料 CAMECA 仪 器 有 着 广 泛 的 应 核辐射下FeCu合金 中富铜颗粒 沉淀析出。每个点表示探测区 用。高科技半导体制造商用来 内实际单个铜原子的位置。颗 进行新材料与器件的研发， 粒直径小于2纳米，其密度为 5E17 cm3 。数据由三维原子探 也用于在线过程的自动控制。 针给出。 世界上著名的实验室和一流科 50 x50 x150nm3 analyzed volume. 数据来 自法国Rouen大学的 Size of the precipitates: 研院校则用于从事基础研究， 3nm in diameter P. Pareige et al. 学术领域包括：地球与天体学 科、材料和核物理学科、环境 学科、细胞生物学和微生物 半导体制造中应用 定量测量SiGe外延生长层 中掺 学等。 杂元素As和Ge 的深度分布。