浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法.pdfVIP

第29卷第3期 应 用 激 光 V01．29，No．3 APPLJEDLASER 2009 2009年6月 June 浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法* 刘荣祁， 陈建荣， 林宝卿， 庄其仁“ (华侨大学信息科学与丁程学院，福建泉州362021) 提要当激光束投射在浮雕光栅上，透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息。提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度 的高精度衍射测量方法。分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面，测量透过光栅的0级和1级衍射光强比，实现对光栅刻 槽深度的间接测量。此测量方法理论精度优于lnm。给出了对石英浮雕矩形光栅的实验测量结果。该测量方法的突出特点 是：所用仪器设备简单，对环境噪声不敏感，测量速度快，特别适用于在线检测。 关键词浮雕矩形光栅； 刻槽深度；衍射测量 MeasurementoftheGroove of Relief LaserDiffraction DepthRectangularGratingsby Liu Rongqi，ChenJianrong，LinBaoqing，ZhuangQiren Scienceand (CollegeInformation Engineering，HuaqiaoUniversity，Quanzhou，Fujian362021，China) of AbstractWhenthelaserbeams intherelief transmissiondiffraction thesurfaceinfor— project gratings，its patternsrepresent mationsoftherelief newmethodof tomeasurethe of relief la— gratings．A highaccuracy groovedepthrectangular by gratings serdiffractionis two lasersofdifferent toincident onthesurfaceofthe respective wavelength vertically grat— proposed．Using ratioofzero-orderdiffractiontothe1St—orderdiffractionthe ismeasured．Sothe ings，theintensity throughgrating groove relief canbe theoreticalof isbetterthanlnm of measuredindirectly．Theaccuracygroovedepth by depthrectangulargratings thismeasurement resultsof the relief inthis method．The experimentalmeasuringquartzrectangulargratingsregiven paper．