FPN的影响因素分析及相关应用.pdfVIP

· 104 · 材料导报A：综述篇 2014年 10月(上)第28卷第 10期 FPN的影响因素分析及相关应用 徐德洋 ，王蓬勃 ，孙立宁 (1 苏州大学江苏省先进机器人技术重点实验室，苏州 215021；2 苏州大学苏州纳米科技协同创新中心，苏州 215O21) 摘要 钢笔纳米刻蚀技术 (Fountainpennanolithography，FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力 显微镜 (Atomicforcemicroscope，AFM)的扫描探针刻蚀技术，具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境 要求低、持续书写等优点。FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素 影响。在介绍FIN相关原理及影响因素的基础上，综合介绍了包括 电化学FPN技术(ElectrochemicalFPN，Ee— FPN)和主动控制技术FPN(ActiveFPN，AFPN)在内的FPN相关技术研 究的最新成果及其在生物领域、微电子领 域和光学器件方面的相关应用。 关键词 钢笔纳米刻蚀技术 原子力显微镜 电化学FPN技术 中图分类号 ：TH742．9 文献标识码：A DOI：10．11896／j．issn．1005—023X2014．19．021 FactorsInfluenceonFPN andItsApplications XU Deyang ，WANG Pengbo ，SUN Lining’ (1 JiangsuProvincialKeyLaboratoryofAdvancedRobotics，SoochowUniversity，Suzhou215021；2 Collaborative InnovationCenterofSuzhouNanoScienceandTechnology，Sooehow University，Suzhou215021) A~tmct Fountainpennanolithography(FPN)isanew scanningprobetechnologybasedonAFM ，andpos— sessesoutstandingperformancessuchashighaccuracy，strongoperability，generalenvironmentrequests，continued writingete．TheprocessofFPN ismainlyaffectedbytheaperturesizeoftheprobe，airhumidity，contacttime，wri- tingspeed。inkfeaturesandsooil ThetheoryofFPN and itsinfluencefactorsareintroduced．Thenthelatesta— chievementsincludingelectrochemicalFPN andactiveFPN arepresented．Finally。thevariousapplicationsofFPN in biology，microelectronicsandopticaldevicesarereviewed． Keywords fountainpennanolithography，AFM ，electrochemicalFPN 结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书 0 引言 写，在微 ／纳机电系统、纳米力学、纳米生物学、超精密加工等 1981年，G．Bining等在 IBM苏黎世实验室发明了第一 众多领域有着广阔的应用前景。 台扫描探针显微镜 (Scanningprobemicroscope，SPM)一扫描 作为基于 sPM 刻蚀技术的一种，钢笔纳米刻蚀技术 隧道显微镜(Scannin