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镁合金表面类金刚石膜的研究进展 ／杨 巍等 ·369 · 镁合金表面类金刚石膜的研究进展 杨 巍，汪爱英，柯培玲，代 伟，张 栋 (中国科学研究院宁波材料技术与工程研究所 ，宁波 315201) 摘要 类金刚石碳 (DLC)膜具有高硬度、低摩擦系数、强化学惰性及生物相容性好等优异性能，镁合金表面制 备DLC膜可极大地改善基体的使用性能。综述 了采用不同制备技术在镁基体表面获得的多种DLC膜系的抗磨损 及耐腐蚀性能，并展望了DLC膜表面改性镁合金的医用前景，指出镁合金表面制备 DLC膜是其表面改性技术中具 有前景的一个研究方向。 关键词 镁合金 类金刚石膜 抗腐耐磨性能 中图分类号：TG14612 文献标识码：A ResearchProgressofDiamond—likeCarbonFilmsonM agnesium Alloy YANGW ei，W ANG Aiying，KE Peiling，DAIW ei，ZHANG Dong (NingboInstituteofMaterialsTechnologyandEngineering，ChineseAcademyofSciences，Ningbo315201) Abstract Diamond-likecarbon(DLC)filmsexhibitexcellentcharacters，suchashighhardness，1OW friction， chemicalinertnessandbiocompartibility．Theperformanceofmagnesium alloycanbeimprovedbyDLCfilm onthe Mgsubstrate．ThewearandcorrosionresistanceofDLC coatingsontheMgsubstrateusingdifferenttechniquesare reviewed，andalsothemedicalforegroundofDLCfilmsonmagnesium alloyisprospected．Moreover，itispredicted thatDLCfilm ontheMgsubstratewillbeaprospectivedirectionforthesurfacetreatments． Keywords magnesium alloy，diamond-likecarbonfilms，wearandcorrosionresistance 镁合金具有密度小、比强度高、阻尼性能及生物相容性 应力，致使膜基结合力小，因此在镁合金表面制备过渡层以 好等优异特性，在交通、航天、信息及医用等领域具有广阔的 增加其承载能力来阻止DLC的失效，通常情况下采用Cr、 应用前景口]，但抗腐耐磨性能较差，严重制约了其应用，适 Ti、Si等作为DLC和基体的打底层，以提高膜基结合力，改 当的表面处理工艺是改善基体使用性能的有效途径 3]。 善其摩擦学特性。夏登福等_】采用室温磁控溅射物理气相 类金刚石碳(DLC)膜是含有金刚石相的非晶碳膜，具有 沉积技术在AZ91D镁合金表面制备了DLC／SiC以及DIC／ 高硬度、高热导率和低摩擦系数、极好的耐蚀性、光学透过性 SiC／Ti多层膜(SiC，Ti为中间层)，揭示出此类复合膜系能 及生物相容性，是机械、电子、汽车、航空、医学、光学等领域 显著改善镁合金的的摩擦磨损性能，并提出了镁合金表面 的理想材料[6--10]。因此，在 “轻量化”要求 日益紧迫的今天， DLC薄膜的低硬度和低弹性模量等力学性能与其镁基材关 开展在镁合金表面制备DLC膜的研究工作具有较高的科学 系密切。N．Yamauchi[12--14]较为系统地研究了借助CVD技 价值和工程意义，但 由于镁基体与DLC膜存在显著的弹性