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纳米划痕测试在材料研究领域的最新进展 ／李 洁 ·15 · 纳米划痕测试在材料研究领域 的最新进展 李 洁 (上海大学材料科学与工程学院分析测试中心，上海 200444) 摘要 纳米划痕测试是近 2O年发展起来的一种新兴的材料力学性能测试手段 。在介绍纳米划痕测试技 术的基础上 ，重点论述了纳米划痕测试在结构材料、电子材料和生物材料方面的最新进展 ，并展望了今后纳米划 痕测试的应用。 关键词 纳米划痕 力学性能 进展 RecentProgressesofNanoscratchApplication inM aterialField LIJie (InstrumentalAnanlysis＆ ResearchCenter．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ShanghaiUniversity，Shanghai200444) Abstract Nanoscratchhasbeendevelopedoverthelasttwodecadesforapplicationsintestingthemechanical propertiesofmaterials．Basedontheintroductionofnanoseratch，applicationprogressesinstructuralmaterials，electronic materialsandbiologicalmaterialsarediscussed．Additionally，theapplicationtendencyofnanoscratchisprospected． Keywords nanoscratch，mechanicalproperties，progress 和恒定载荷方式。斜坡加载方式通常用来研究薄膜破坏的 0 引言 临界载荷 ，恒定载荷方式通常用来测量摩擦系数 。测 划痕测试是测试材料力学性能 的一种常用方法 。它是 试中的摩擦系数通常定义为切向力与法 向力的比值。在相 在小 曲率的硬质划针上施加一定的法向力 ，并使探针沿样品 同的划痕位置 ，如果法向载荷相 同，则可以通过 比较摩擦系 表面刻划 ，通过样品表面的划痕来评价其硬度_1]。早在 1822 数得知切向力的大小。 年 FriedriehMohs就利用划痕测试方法对材料表面进行 了 1 纳米划痕测试的应用进展 测试 。随后 ，Heaven于 1950年第 1次利用划痕方法对薄膜 材料中薄膜与基体 的结合力进行了测量 2]，并且得到 了很好 随着材料科学技术 的发展和新材料 的不断涌现，纳米划 的结果。近年来 ，随着材料制备技术 的不断发展，薄膜和表 痕测试得到 了广泛应用 ，尤其是在结构材料、电子材料 、生物 面改性层的厚度越来越薄，这对测试仪器载荷和位移分辨力 材料等领域 。 的要求也越来越高 。在这样的背景下，纳米划痕测试逐渐发 1．1 结构材料领域 展起来并得到广泛应用。与传统的测试方法相比，纳米划痕 纳米划痕测试方法最初用来测试界面的结合强度和摩 测试提供了更为简单、通用和快捷 的方法来研究材料的力学 擦系数 ，从而评估薄膜与基体 的结合能力和 固体润滑效 性能，并且还具有样 品材料选择面广、测试设备便利和测试 果l1“]。在划痕测试加载过程中，通过观测压头和薄膜间的 过程中转换样品容易等优点 ]。 摩擦力或摩擦声音信号变化曲线确定薄膜的临界载荷[12,1a]。 纳米划痕测试通过压头在垂直加载的同时，在水平方向