湿化学工艺SrNbxTi1-xO3导电薄膜的制备及性能.pdfVIP

维普资讯 湿化学工艺SrN Ti一Oa导电薄膜的制备及性能／王晓娟等 ·325 · 湿化学工艺 SrNbTi。一03导电薄膜的制备及性能 王晓娟 ，殷 明志 ，林鸿鹏 ，张鹤飞。 (1 西北工业大学航海学院，西安 710072；2 西北工业大学理学院，西安 710072； 3 西北工业大学动力与能源学院，西安 710072) 摘要 采用湿化学工艺在硅衬底上成功地制备了结构致密、均匀且无龟裂的SrN Ti1-x()3薄膜。金属盐的冰 醋酸溶液经回流再加入乙酸酐除去无机阴离子和结晶水，形成的金属醋酸盐与适当的络合荆形成的多配体络合物经 部分水解生成的羟基化合物 M(OH)… (L)(L— CH606或 AcAc，M —Sr或 Ti或 Nb)经羟基聚合形成SrNb~一 Ti O。簇状溶胶。丙三醇抑制了羟基金属过度聚合，甲基 纤维素 (MCL)使 SrNbxTi一O溶胶 具有 网状结构。 SrNbo】Ti0．903(SNTO)凝胶薄膜经过 650~750oC／30min退火形成假立方钙钛矿结构。应用XRD、SEM 和TEM 对 薄膜结构和形貌进行表征。室温下SNTO薄膜的电阻率为54Q ·cm，而在 160K到室温之间薄膜电阻率随温度的变 化遵从p一 +A 。分析结果表明：Nb5离子的施主掺杂改变了禁带宽度，实现了SrTiO3的n-型半导体化。SNTO (100)／Pt／Ti／SiOz／Si衬底上的Pb(Zr0．52Tio．48)03(PZT)薄膜的择优取向明显，较之于Pt／Ti／SiOz／Si衬底上的PZT 薄膜有良好的铁电性，其剩余极化强度也比PzT／Pt(111)／Ti／SiOz／Si的大。 关键词 溶胶一凝胶工艺 SrNbxTil一03薄膜 电学性能 中图分类号：TQ42 文献标识码：A PreparationandPrepertiesofHighlyElectricalConductiveSrNbxTil一03Films ExpitaxiallyGrown bySol—gelTechnique WANGXiaojuan，YINMingzhi，LIN Hongpeng。，ZHANGHefei。 CollegeofMarine，NorthwesternPolytechniqueUniversity，Xi’an710072；2 SchoolofScience，NorthwesternPolytechnique University，Xi’an710072；3 SchoolofPowerandEnergy，Northwestern Pol~echniqueUniversity，Xi’an710072) Abstract Homogeneous，crack-freeSrNbxTil～ 03filmson(110)siliconsubstratesaresuccessfullyfabriae— tedbysol-gelprocessing,Theoptimum routeandconditionsatesystematicallyinvestigated．Sr(OAc)2glacialaceticacid solution，beingrefluxedandreactedwithacetylacetone(AcAc)，foITflSSr(OAc)2(AcAc) ；Ti(OBu)4molecule，being partiallyexchangedwithAcAc，formsTi(OAc)4一 (AcAc) ；whileNb(OC_eH5)5needsbeingchangedintoNb(AcAc)2一 (04C