激光诱导化学气相沉积法制备a—Si3N4纳米粒子研究.pdf

维普资讯 中 国 粉 体 技 术 Vot．5No 3 ChinaPowderScienceandTechnology JLme1999 ，夕 月 l会作年议者来和升以杂绍t主志要风：上从雷发事表，哥纳论束，文91材622料0年非多篇出生晶态并，氮现。有化为多硅篇中荻的制科国各奋扳学工优院艺秀安徽学光、术谱光论及学文精其奖密它机枷。械性研研宽究所，博在己士全研国，9194 激光诱导化学气相沉积 法制备 a—Si3N4纳米粒子研 究 了 D牛．2jL 风 雷 郑 韬 李道火 f — — — — — 一 r — — 一 (中国科学院安徽光学精密机械研究所，合肥 230031) 摘 要 路出激光化学气相沉积法制奋a—SiN．纳米粒子的 Sill。／NH ／Ar体系制备，其原理方程式如下 原理和蛀验公式，在特定工艺参数下荻得平均粒径为 lOnm 左右的优 电a—SiNt纳米粒子 。红外吸收和拉 曼光谱研究表 3Sill。+4NH3 sN。+12H2十 明．a—Si，N．纳米粒子中存在 Si—N，Si～H，N—H，Si—O～Si 工艺参量与生成粉末特性关系一直是激光制粉 键．分析 了a—si。N一纳米粒子在不同的温度和气氛退戈后的 基本研究的内容。其 中激光功率密度、反应气体流 量、配比、反应压力和火焰温度等对生成粉末特性都 有一定影响。我们经过大量的理论与实践分析，获得 了激光制粉多变量匹配公式 域即迅速发展起来 。例如传统 sbN。是典型的共 Io= Iem ， (1) 价无极性绝缘体，但在纳术状态下却具有强极性的 式中 。——激光入射功率；——剩余激光功率； 压电效应，且高频 电导急剧上升而倾向于导电 。纳 — — 反 应 气 体 流 速 ；—— 反 应 压 力 ； 米材料这些奇妙的物理特性对凝聚态物理和材料科 — — 激光功率密度 。 学的现有理论提出了挑战。 d： ／RC( — T)／(T +T )] (∞ 激光诱导化学气相沉积法 (1aserinducedchemi— 式中 ——SiH。比热 ；R——气体常数 ；T——反 ca]vapordeposition简称 LICVD)是利用反应气体 应温度 ；T——常温 。 分子对特定波长激光束的吸收而产生热解或化学反 公式(1)适台于激光气相沉积超微粉体系。但对不同 应 ，经成核生长形成超细粉末，LICVD法通常用 粉末和体系 和 d值需要修正。 CO