电子显微技术的发展趋势及应用特点.pdfVIP

综述与评论 电子显微技术的发展趋势及应用特点 张德添、刘安生、朱衍勇等 电子显微技术，其中包括电子显微镜和激光共聚 电子光源。因而能够在原子——纳米尺度上对材料 焦扫描显微镜及其相关领域的技术，世界各大公司的 的原子排列和种类进行综合分析。九十年代中期，全 厂商都看好经济快速发展，科学技术倍受重视的中国 世界只有几十台，现在已猛增至数千台。我国目前也 市场。因此，他们都不遗余力地推出其最新的产品和 有上百台以上场发射枪透射电子显微镜。 技术，来吸引中国客户的注意。概括起来，电子显微 常规的热钨灯丝电子枪扫描电子显微镜，分辨率 技术其发展趋势和应用特点大致如下： 最高只能达到3．Onm左右。新一代的场发射枪扫描 电子显微镜，分辨率可以优于1．0nm。超高分辨率的 一、努力发展新一代单色器、球差校正器，以进 扫描电镜，其分辨率高达0．5nm一0．4nm。其中环境 一步提高电子显微镜的分辨率 扫描电子显微镜还可以做到真正意义上的“环境”条 件，样品可在100％的湿度条件下观察，生物样品和非 常规的钨灯丝透射电镜的球差系数Cs大约为 导电样品不需要镀膜，可以直接上机进行动态的观察 mm级，现在的场发射透射电镜的球差系数已降低到 和分析。可以实现所谓的“一机三用”的功效，即高真 空、低真空和“环境”三种工作模式，给各种分析工作 Cs0．05mm的水平。常规的钨灯丝透射电镜的色差 系数大约为0．7，现在的场发射透射电镜的色差系数 的转换带来了很大的方便。 已减小到0．1左右。 物镜球差校正器把场发射透射电镜分辨率提高 三、发展智能化，功能化。综合型和小型化的电 镜是今后发展的趋势 到了信息分辨率的水平。即从0．19nm提高到 0．12nm甚至于小于0．1nm。 利用单色器，能量分辨率将小于0．1eV。但是单 目前，电子显微镜分析工作已经迈向计算机化和 色器的束流却只有不加单色器时的十分之一左右。 网络化。不同地区之间，可以通过网络系统，演示如 因此利用单色器的同时，也必须同时考虑单色器的束 样品的移动，成像模式的改变，电镜参数的调整等，以 流的减少问题。 实现对电镜的遥控操作。在仪器设备方面，目前扫描 聚光镜球差校正器把STEM的分辨率提高到了电镜的操作系统已经使用了全新的操作界面。用户 小于0．1nm的同时，也把束流提高了至少10倍，非常 只须按动鼠标，就可以实现电镜镜筒和电气部分的控 有利于提高其空间分辨率。 制以及各类参数的自动记忆和调节。发展智能化，功 当然，在球差校正的同时，色差大约增大了30％左 能化，高性能综合型和小型化的电镜是今后发展的主 右。因此，校正球差的同时，也要同时考虑校正色差。 流和趋势。 目前，场发射透射电镜、STEM技术和能量过滤电 例如，FEI最新的透射电镜Titan80—300就具有 镜技术，在国际上已经成为材料科学研究，甚至是生 高性能综合型的特点：在电镜基本系统上可选配一到 物医学研究中必不可少的分析手段和工具。 二个球差矫正器，和／或单色器；加速电压范围80一 二、高性能场发射枪电子显微镜日趋普及和应用 一台电镜相当于购买了三台高、中、低压透射电镜；优 异的亚纳米分析能力；束斑尺寸0．1nm时，束流仍 场发射枪透射电镜能够提供高亮度、高相干性的 收稿日期：2008—01-