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CVD金刚石(膜)制备技术及应用进展.pdf
· 综 述 ·
CVD金刚石 (膜)制备技术及应用进展
马国欣 ,向 鹏 。,邱胜宝 ,邬纪泽
(1.华南理工大学电子与信息学院,广东 广卅I 510641;2.广卅l中国科学院工业技术研究院,广东 广州 511458;
3.中国科学院成都光 电技术研究所 ,四J1I成都 610209)
DevelopmentofPreparativeTechniqueandApplication of
ChemicalVaporDepositionDiamond (Film)
MA Guo~xin ,XIANG Peng ,QIU Sheng—bao ,WU Ji—zhe。。
(1.SchoolofElectronicandIr!formationEngineering,SouthChinaUniversityofTechnology,
Guangzhou510641,China;
2.InstituteofIndustryTechnology,Guangzhou ChineseAcademyofSciences,Guangzhou511458,China;
3.InstituteofOpticsandElectronics,ChineseAcademyofSciences,Chengdu610209,China)
Abstract:ChemicalVaporDeposition (CVD)isnow themainwaytopreparediamond (film).After
decadesofdevelopment,from micro—tonano—crystallinediamond filmsandsinglecrystaldiamondwith
mostoutstandingproperties,applicationsofdiamond(film)continuetogrow.BesidesindustrialandCOrn—
mercialapplications,nano—crystallinediamondfilmsinMEMS/NEMSandbio—medicalapplicationsdraws
peopleSattention.Preparationoflarge—sizesingle—crystaldiamondisthekeytopromotetheseapplications.
ThispaperanalysescharacteristicsofM icrowavePlasmaCVD(MPCVD),discussestheproblemsincorn—
mercializationofCVD diamond (film)application,outlooksthefutureofdiamondfilm applications.
Keywords:CVD;Diamond;Films;Application
摘要 :化学气相沉积(CVD)方法是金刚石(膜)制备的主流技术 ,经过多年 的发展 ,已从最初 的微米金刚石膜发展到纳米
金刚石膜 ,至 目前高质量 的单 晶金刚石 ,应用领域不断扩展 。除了工业和 民用领域外 ,纳米金刚石膜在 MEMS/NEMs、生物
医学的应用进展引起业界关注,其 中大尺寸单 晶金刚石 的制备是推动这些应用 的关键。本文分析 了MPCVD金刚石成膜特
点,讨论了现阶段 CVD金刚石膜商业化推广应用的制约因素,展望了今后金刚石膜的发展前景。
关键词 :CVD;金刚石 ;薄膜 ;应用
中图分类号:TN201 文献标识码 :A 文章编号:1002--8935(2009)05--0005--07
金刚石是已知硬度最高的材料 ,具有非常好的 需求量快速增加 ,人造金刚石 (膜)的制备成为领域
物理、化学
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