MEMS陀螺标度因数误差分析及分段插值补偿.pdfVIP

维普资讯 2007年 9月 北 京 航 空 航 天 大 学 学 报 September 2007 第33卷 第9期 JournalofBeijingUniversityofAeronauticsandAstronautics Vo1．33 No．9 MEMS陀螺标度因数误差分析及分段插值补偿 李建利 房建成 盛 蔚 (北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院 ，北京 100083) 摘 要 ：动态条件下，标度 因数引起 的误差是 MEMS(MicroElectromechanicalSys— tem)陀螺主要误差源之一．为了提高陀螺精度，基于 内框驱动式硅 MEMS陀螺误差机理，分析 了标度 因数常值误差 、非线性误差 以及不对称误差的物理起 因，构建 了标度 因数误差数学模 型，提 出了对陀螺标度因数按照角速度大小分段插值的补偿方法 ，消除了转速引起的陀螺标度 因数误差．试验结果表明：MEMS陀螺标度 因数误差高达4053．2(。)／h(1or)，采用分段插值法 补偿后陀螺误差减小到79．0(。)／h(1ro)，补偿精度比一次拟合及分段法分别提高 了15．4倍 和 7．5倍，验证了MEMS陀螺标度 因数误差模型的正确性，证 明了标度 因数实时分段插值补 偿方法的准确性和适用性． 关 键 词：微机 电系统；陀螺；标度 因数；非线性误差 ；分段插值法；误差补偿 中图分类号：V249．32 2 文献标识码 ：A 文 章 编 号：1001-5965(2007)09—1064-04 Erroranalysisand integratedcompensationof scalefactorforMEMS gyroscope LiJianli FangJiancheng ShengWei (SchoolofInstrumentScienceandOpto—electronicsEngineering，BeijingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Beijing100083，China) Abstract：Indynamiccondition，scalefactorerrorisoneofthemainerrorsforMEMS(microelectrome— chanicalsystem)gyroscopes．ForthesakeofimprovingperformanceoftheMEMSgyroscope，thephysicalori— ginofbias，nonlinearandasymmetryerrorofscalefactorwereanalyzed．Basedontheoperationalprincipleof MEMSgyroscopedrivenbytheinnerframe，mathematicalerrormodelofscalefactorofrMEMSgyroscopewas designed．Accordingtotheangularvelocityofgyroscope，themethodtocompensatescalefactorwasproposed SOastoeliminatescalefactorerrorcausedbyangularrate．Theexperimentalresultsshow thatthescalefactor originalerrorofgyroscopeis4053．2(。)／h(1ro)anderrorcompensatedbytheintegratedcompensationmeth— odisimprovedto79．0(。)／h(1ro)．Comparedwiththemethodsofleastsquareandsegme