透射电子显微镜样品制备技术_一_薄膜样品制备技术.pdfVIP

物 理 测 试 年第 期 透射电子显微镜样 品制备技术 一 薄膜样品制备技术 马 淑 波 国 学 金属研究所 沈阳 中 科 院 前言 否 到 目 , 品 否 足 透射 电子显微镜 的研 究工作能 顺利地达 预期 的 也就是说所观察 的样 是 有 够 的薄 区并 能反 映大块材料 中的微观 结构和 获得好 的透射 电镜照 片 , 其关键就是 能否具有好 。 。 的透射 电镜样 品 因此 , 寻求理想 的样 品制 备技术是至关重要 的 目前制备金属 薄膜样 品应用 最广泛 的是双 喷 电解抛 光技术 对 于脆性 或非导 电性质 的材 。 料 多应用 技 , 文 此 两顶 技 论 下 离子减 薄 术 本 就 术讨 如 预减薄 无论是采用双 喷 电解抛光技术 还 是离子减薄技 术 , 事先都要针对所要研 究的大块材料进 。 行预减薄 , 然后再进行 电解抛光 或离子减薄 在减 薄样 品之 前 , 首 先要认识试 样 制备技 术 本 身对在 显微镜观 察 到 的显微 结构 细 节 可 生 。 以 花 割 不 加工 不 品 面 能产 的影 响 所 要 知道 电火 切 或研 磨等 同 方法对 同材料 的样 造成近 表 。 损伤层 的厚度是 十分重要 的 样 品必须做得稍微 比两倍 的损伤穿透深 度厚些 , 以确保最 后 所 获 得 的样 品未受变形影 响 。 这对于观察一 些形变 引起 的微观 结构变化 的样 品更 为重要 。 确定损 使 用一 些 低 陷 的充分 火 , 态和 度 的 伤穿透深度 的最好方法是 具有 缺 密度 退 材料 根 据 位错组 密 变化来确 定样 品被损