锆钛酸铅95_5薄膜的介电性能与弛豫特征.pdfVIP

34 3 Vol. 34 No. 3 第 卷第 期 武 汉 工 程 大 学 学 报 2012 3 J. Wuhan Inst. Tech. Mar. 2012 年 月 文章编号:1674-2869 (2012)03-0042-03 锆钛酸铅95 / 5 薄膜的介电性能与弛豫特征 * ， ， ， 王 英 张 超 迟媛媛 余大书 ( ， 300387) 天津师范大学物理与电子信息学院 天津 : － 95 / 5 (PZT95 / 5) ， 、 摘 要 采用溶胶 凝胶法制备锆钛酸铅 薄膜 通过分析介电温度谱 介电频谱研究薄膜的介 ． : - (T) ． ， 电性能 研究结果表明 介电常数 温度曲线ε 的相变峰随着频率的增加而逐渐变得平坦 同时 介电常数 － 1 (T) ; ， 倒数与温度曲线ε 在高频不符合居里外斯定律 采用普适弛豫定律公式 对不同温度下的介电频谱曲线 (f ) ， ， - - ε 进行拟合 得到弥散系数随着温度的变化曲线 该曲线在铁电 顺电转变以及反铁电 铁电转变这两个特 ， - - ． 征温度附近出现异常 结合材料反铁电 铁电 顺电相变的微观结构变化规律对此现象进行了讨论 : － ; － ; ; 关键词 溶胶 凝胶 反铁电 铁电相变 介电谱 普适弛豫定律 中图分类号:TB332 文献标识码:A doi :10. 3969 /j. issn. 1674-2869. 2012. 03. 001 ， 除去其他未反应有机溶剂的蒸馏过程 使前驱体 0 引 言 PZT95 / 5 ． 溶液充分反应形成均一透明的 溶胶 该 溶胶经过24 h ， ， 锆钛酸铅95 / 5 (PZT95 / 5 )材料由于其锆钛比 静置 未出现沉淀现象 说明符合溶 ． 3 000 r / min ， － ， ， 胶要求 用旋涂法并且设置转速为 均 处于铁电 反铁电相附近 具有反铁电性质 并且 － ， 匀地将溶胶涂在低阻硅片上． 湿膜经过 100 ℃ 真 其在外场条件下能够发生反铁电 铁电转变