变截面梁的微电镀研究.pdfVIP

中国机械工程第16卷增刊2005年7月 变截面梁的微电镀研究 刘益芳 吕文龙 孙道恒 厦门大学，厦门，361005 摘要：介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台，设计了悬臂梁的微电镀工艺流程。为了提高镍微电镀镀层 的均匀性和降低镀层的内应力，以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题，研究了不同电镀参数 下的悬臂梁的电镀效果。实验结果表明，脉冲电源电镀优于直流电源电镀，且在阴极前放置细铁丝网、适当降低 电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性。 关键词：悬臂梁；变截面；微电镀；一致性 中图分类号：TQl53．43文章编号：1004—132x(2005)S1一0404—03 Researchon OfBearnwithVariableCross—section Micro—electroplating Liu LU Sun YifangWenlongDaoheng Xiamen Universtiy，Xiamen，361005 andthe Abstrat：The ofthebeamwas afterthe micro— fabricatingprocess designed micro—electroplatingprinciple different effectsunderdifferent werere— formwereintroduced．The electroplatingplat electroplating platingparameters searchedto the innerstressesofthe the resultedfrom improveuniformity，decrease platedlayers，solvenon—uniformity different areas．The resultsshowthat current is tothedirect electroplatingexperimental pulse electroplatingsuperior one aneatwireinfrontofthe thecurrent the the and density，increasingduty，prolonging setting cathode，decreasing timeallcanincreasethesmoothnessand ofthe plating uniformitydeposit． i cross words：cantileverbeam；variable Key section；micro--electroplating；uniformity 0 引言 技术加工，则工艺过于复杂。由于厦门大学微机电中心的 设计了如图1所示的