溶胶凝胶法制备薄膜的研究进展.pdfVIP

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2015-08-18 发布于重庆
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溶胶凝胶法制备薄膜的研究进展.pdf

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溶胶凝胶法制备薄膜的研究进展.pdf

第卷第期玻璃与搪瓷 32 6 Vol. 32 No.6 年月 2004 12 GLASS ENAMEL Dec. 2004 溶胶凝胶法制备薄膜的研究进展。 - 。。李宁 9卢迪芬9陈森凤 (华南理工大学材料科学与工程学院9广东广州 510640) 摘要!溶胶凝胶工艺是一种很有前途的薄膜制备方法O简单介绍了薄膜的种类及制作方法O - 将溶胶凝胶法与法和法等进行了比较9说明了其制膜的优点9如工艺简单\设备要 - PVD CVD 求低以及适合于大面积制膜O具体介绍了用溶胶凝胶法制膜的流程及应用9着重介绍了基片 - 的清洗方法和薄膜的涂覆方法O 关键词!薄膜;溶胶凝胶法;基片清洗;薄膜涂覆 - 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! ( ) O484.1 A 1000-2871 2004 06-0050-06 Develo ment in Pre aration of Thin Films p p b Sol-Gel Methody 9 en9 en LI Nin LUDi－ C~EN Sen－ g f f g ( 9 Institute of Materials Science and En ineerin South China Universit g g y 9 9 ) of Technolo Guan Zhou 510640 China gy g : 9 Abstract The sol- el techni ue is a romisin method in re arin thin films. In this a er g C p g p p g p p