溶胶凝胶镀膜技术综述连载7.pdfVIP

全国性建材科技期刊——《玻璃》2003年第5期总第170期 溶胶——凝胶镀膜技术综述(连载7) 王德宪 郭利娅 (秦皇岛玻璃工业研究设计院 秦皇岛市066004) 第二节玻璃基板的清洗 1．1．4离子冲击法 要使镀膜牢固地附着在基板上，首先要保证玻 以加速的阳离子，射向基板表面，将表面上的污 璃表而的清洁，镀液才能在玻璃表面润湿。一般来 物及吸附物除去。这是一种比较好的清洗方法。在 13．3～1333．2 卅．苯f：J豆清洗方法的选择取决于镀膜方法与产品用 Pa的试样室内，在基板正前方的电 000 途。基板的表面状态对镀膜的结构及物理性质都有 极上，施以500～1 V的电压，引发低能辉光放 很大影响。所以，象真空镀膜，化学气相沉积等都有 电。获得高能的离子，溅射到基板表面。值得注意 自己独特的清洗方法。谈到基板的清洗，一般是指 的是，溅射的离子能够使试样室内的油气分解，其分 清除表面上物理吸附的污物及化学吸附的污物。因 解产物会对基板表面造成污染。 此，针对这种情况，出现了不少清洗方法。下面仅就 1．1．5加热法 实验室及工业上常用的几种情况方法以及对清洗效 将基板在真空中加热至300℃左右，除去基板 果的检查方法作简单介绍。 表面的吸附水。这时真空排气系统最好不用油，以 1 清洗方法 防油的分解产物对基板表面重新造成污染。 1．1实验室方法 上述是实验室常用的5种清洗方法。在实际清 1．1．1使用洗涤剂法 洗时，应视具体情况，将这几种方法加以适当组合， 将基板浸入热的洗涤剂溶液中，以除去基板表 以达最佳洗涤效果。 面的油脂。然后用流水将洗涤剂充分洗净，再浸入 1．2 工业方法 醇中，最后用干燥剂等迅速干燥。为防止经上述处 工业上，基板的清洗方法一般有：机械方法、化 理后的基板表面被手上的油脂再次污染，应使用竹 学方法、热洗涤法、超声波法以及紫外线法等。实际 夹子等工具进行操作。比较简单的方法是用抹布蘸 应用中，一般将几种方法综合起来，选用纯水、中性 上洗涤液，充分擦洗基板表面。然后再用上述方法 洗涤液、酸、碱、醇等液体，有时用醇等的蒸汽。洗涤 洗涤、干燥。 液的选择应根据污物的种类及基板的材质而定。在 1．1．2使用试剂、溶剂法 洗涤后的干燥过程中，应将洗涤液中残留的污物全 过去，曾用重铬酸钾一浓硫酸洗液浸泡基板，以 部除去。对于单分子层的污染层，选用真空条件下 除去玻璃表面的油脂。但是，最近由于废液处理问题 的离子冲击、等离子等电洗净方法效果更好。 而很少使用。使用丙酮等溶剂法，按照1．1．1中所述 1．2．1擦洗法 的办法进行清洗，或用溶剂的蒸汽除去基板表面的油 对于在基板表面附着力较强的污物，采用机械 脂，这时，使用异丙基醇作为溶剂，洗涤效果很好。 擦洗法与化学作用并举的办法涤洗效果最佳。工业 1．1．3超声波洗涤法 上，在将洗涤液、纯水喷向基板的同时，用不断转动 这是利用在液体介质中传导的超声波的空化作