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光电工程
科 仅 循 思
Sciencean drechn010 Inform ation
… … 一 … … — … … … … … … …
光被侧面连续反射,沿着螺旋路径射入底
面 ,然后耦合到硅 中。
警 常瑞华教授课题组的实验研究表 明,激光
器可 以在硅上生长 ,这是迈 向光互连用激光
器 的关键一步。但是 ,要使该技术走 向实用
在硅 化 ,还有很多工作要做 ,其 中挑战之一是实
现芯片光互连所 需的电泵浦激光器 。 目前 ,
该研究小组 已经展示 了具有 内部连接 的纳米
柱LED。 目前该项技术面临的另一个挑战是:
美 国加州大学伯克利分校常瑞华教授课题 InGaAs激光器输 出的950nm激光在硅 中具有
组成功地在硅上生长 出了纳米柱 III—V族半 较强的传输损耗 。磷化基激光器输 出的长波
导体激光器 ,这一成果为光子学与 电子 电路 长激光在硅 中的传输距离远远超 出1100nm。
的集成提供 了新方法 。之前 ,在硅上生长激 该研究小组表示,通过优化生长技术 以加入
光器面临的障碍主要来 自以下两方面: (1) 更多的铟 ,可 以将激光器的输 出波长延长 。
硅工艺和III-V族半导体工艺处理温度不兼 到 目前为止,该研究小组只在硅上生长激
容 ; (2)硅 晶体和III—V族 晶体不匹配 。常 光器 ,但实 际应用需要在 已经具有CMOS电路
瑞华教授课题组成功地克服 了这两项技术难 的硅芯片上制备激光器 。 目前纳米柱 的生长
题 。
温度是400℃ (远低于一般III.V族半导体工艺
实现激光器和硅基 电子器件的集成 ,对于
的处理温度 ),与CMOS工艺 的处理温度兼
未来 的高性能计算至关重要 。芯片上多个处
容 。
理器 内核之间、电路板上多个芯片之间的光
尽管还有许多问题有待解决,但常瑞华教
互联 ,可 以提供 的信号传输速度远远高于 电
授课题组对此项 目仍持乐观态度 。在硅上直
互连 。硅可 以制作成硅波导和硅探测器 ,但
接生长纳米柱激光器 ,不但可 以提供更小的
是 由于它缺乏直接带隙,因此不能制作硅半
尺寸 ,而且能够实现更大 的可扩展性 ,因而
导体激光器 。 目前研究人员正致力于将III—V
特别适合应用在高密度子学领域 。研究人员
族半导体激光器和硅技术结合起来 。
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