Linnik白光干涉仪自动对焦及光程差最小化.pdfVIP

第39卷第 11期 光 电工程 Vo1．39，No．11 2012年 11月 Opto-ElectronicEngineering Nov,2012 文章编号：1003—501X(2012)11—0008—09 Linnik白光干涉仪 自动对焦及光程差最小化 李 勇，吴 奎，卢荣胜，董敬涛 (合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，合肥 230009) 摘要：众所周知由于两个干涉臂光路不匹配和参考镜面与被测表面的离焦，要得到相干长度非常短的Linnik白光 干涉仪的干涉条纹是非常困难的。本文提出了一种 自动调节的方法来解决这个问题。为了实现参考镜面和被测表 面的对焦，在商用DVD读取头的基础上，对其像散法进行改进，具体方法是对和信号 sS设定一个阈值，通过此 阈值对归一化后的FES曲线 Es)进行裁剪，从而获得一个与离焦距离成单调关系的曲线(TNFES)，其过零点对 应的就是焦点。经过实验证明，改进后的 自动对焦系统的动态范围为 190gm，平均灵敏度 70mV／lam，平均标准 偏差0．041ktm，分辨率4．4nlTl，不确定度5511112。此外为了最小化两个干涉臂的光程差，本文采用均方根RMSFC 算法来计算成像在 CCD 上的干涉条纹的对比度，通过找到其最大值来最小化光程差。实验证明本文提出的 自动 方法可以有效地获得 Linnik白光干涉仪的干涉条纹。 关键词：自动对焦；Linnik白光干涉仪；DVD读取头；FES曲线 中图分类号：TP273 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2012．11．002 AutomatedM ethodofFocusingandM inim izing OPD inLinnikW hiteLightInterferometry LIYong，W U Kui，LU Rong-sheng，DONG Jing-tao (SchoolofInstrumentScienceandOpto—electricEngineering，HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China) Abstract：Itisdifficult，asweknow,tosearch forinterferencefringesinLinnik whitelightinterferometry with an extremelyshortcoherencelengthbecauseoftheopticalpathmismatchoftwointerferencearmsandoutoffocusofthe referencemirrorandhtetestsurface．Anautomatedmethodtotacklehtisproblem ispresented．Thedeterminationofbest fociofthereferencemirrorandthetestsurfaceisimplementedbytheastigmaticmethodbasedonamodifiedcommercial DVDpickuphead．TheastigmaticmehtodisimprovedbysettingathresholdvalueintheSumSignal(SS)totruncatethe NormalizedFocusErrorSignal(NFES)．TheTruncatedNFES (TNFES)hasamonotonicrelationshipwithhte displacementofhtetestsurfacenadthezerocrossingpointidentifiestruefocus．Thedeveloped