可用作分光元件的二元菲涅耳透镜.pdfVIP

维普资讯 第 3O卷 第 6期 光 电工程 Vo1．30，No。6 2003年 12月 Opto·ElectronicEngineering Dec．2003 文章编号 ：1003．501X(2003)06．OOo4·04 可用作分光元件的二元菲涅耳透镜 纪宪明，沐仁旺，韩 良恺 (南通师范学院物理系，江苏 南通 226007) 摘要：根据菲涅耳衍射理论 ，采用微光学元件制作技术，通过三次套刻制作出八位相 台阶的三元 离轴菲涅耳透镜。这种微型光学元件同时具有色散分光和聚焦功能，用来作为分光元件时 具有 较 高的光谱分辨本领和衍射效率。实验测出其衍射效率大于68％。 关键词：菲涅耳透镜；衍射效率；光谱分辨力；微光学元件 中图分类号：TN256 文献标识码：A A binaryFresnellensusedaslightsplittingelement JIXian-ming，M U Ren-wang，HAN Liang-kai (DepartmentofPhysics，NantongTeachersCollege，Nantong226007，China) Abstract：A binaryFresnellenswith8phasestepscanbemanufacturedwithmicro。opfic~ element ~bficating technology and three timesofalignmentaccording tO Fresneldiffraction theory．This mi cro·opticalelementhasbothdispersivelightsplittingandfocusingfunctions．W henitisusedaslight splittingelement，ithasahigherspectralresolving powerand diffraction efficiency~Itsdiffraction efficiencytestedinexperimentsismorethan68％． Keywords：Fresnellens；Diffractioneffi ciency： Spectralresolution：M icro—opticalelement 引 言 传统的光谱仪器一般用棱镜或光栅作为色散分光元件，但棱镜或光栅作为分光元件都存在一些难以克 服的缺点，如棱镜的光谱分辨力不高 ，普通光栅 由于存在多级衍射 ，衍射效率比较低 ，从理论上讲 ，闪耀 光栅衍射效率可达到 100％，但是，制作锯齿形的连续位相轮廓 比较困难 ，在使用这些元件时都需要加准 直和聚焦成像透镜 ．光路 比较复杂 。利用二十世纪九十年代发展起来的微光学元件制作技术，人们制作了 多种位相型微光学元件和集成光学元件 ，这些元件不仅重量轻、体积小、光路简单，而且衍射效率很高 】。 我们用这种技术制作了八台阶位相型离轴二元菲涅耳透镜，该元件可用来作为分光元件 ，具有较高的光谱 分辨力和衍射效率 。 1 原 理 在二元振幅型菲涅耳波带板 FZP (FresnelZonePlate)的近场菲涅耳衍射中，由于存在多个发散和 会聚的球面波，衍射效率很低 (一1级的衍射效率约为 10％左右)，为了提高衍射效率，可将 FZP的每个波带 再分为多个同心圆环，制成多台阶的位相型结构，称为二元菲涅耳透镜。设将 FZP的每个波带分为 ￡个位 相台阶，每个波带中第 k个台阶的位相为27rk．／L，位相分布如图 1所示，透过率函数可写为 收稿 日期：2003-04-05：收到修改稿 日期 ：2003一10—18 基金项 目：江苏省教育厅 自然科学基金 作者简介：纪宪明 (1955一)·男 (汉族)，江苏南通人．剐救授． 要从事光学教学和光信息处理及