MEMS-DMs设计与工艺技术的研究.pdfVIP

摘 要 本论文设计的项目主要从校正光线穿过大气、光学设备时产生的波前畸变出发，分 析自适应光学校正方法，提出自适应光学波前校正系统中的核心执行器件DMs 的设计结 构和制造方法。 随着小型化趋势的发展，和空间光学器件对体积、质量的要求，质量轻，体积小的 DMs 是本项目设计的创新点，也是本项目的难点所在。本文采用基于MEMS 技术的工艺流 程, 提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的结构。通过体硅工艺进行制造以获得 更为平整的反射镜面和更多的自由度，通过创新的在镜面后面附加小型台柱来减小驱动 电极与镜面之间的距离，这种设计使变形反射镜的驱动工作电压大大减少。设计阶段， 深入研究了有限元力学－电学耦合方法，列出分析方程。通过Ansys 软件多次进行了有 限元耦合分析，确定了最佳的变形反射镜，包括其各个部分，的尺寸。 在制造流程设计和北大微电子所的实际制造过程中，分析 MEMS 制造过程中可能遇 到的大面积腔体深腐蚀中凸角腐蚀，硅－玻璃键合过程中容易出现的小空隙粘合，镜面 崩塌等关键问题，从最基本的原理进行了阐述和分析，实施了T 形条凸角补偿，延长驱 动线以获得电荷平衡，贯通浅槽以保持腔体气压平衡和静电键合中的面阴极来保护镜面 等解决方案；同时在掩模中加入了监