CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望上.pdf

超硬材料 工程 VoL 第24卷第2期 2t 2012年4月 SUPERHARDMATERIALENGINEERING Apr．2012 CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望(上)。 杨德威，栗正新，苑执中 (河南工业大学材料科学与工程学院。郑州450001) 摘要：简要描迷了CvD金刚石薄膜技术的发展历程．介绍了纳米特别是超纳米全刖石膜、C、，D全刚石 大单晶的技术特点及其应用．超纳米金刚石膜在MEMS(微机电系统)、电化学和生物医学上的应用和 CVD金刚石大单晶是当前的研究热点．简言之，全刚石的发展向着更大或者更小的方向深入进行，即。非 大即小”． 关键词：起纳米金刚石膜；CVD金刚石大单晶；综述 中图分类号：TQl64文献标识码：A 文章编号：1673—1433【2012)02一0044一05 and Thecurrentsituation ofCVDdiamondfilm development techniques YANG De-wei。LI Zheng-xin。YUANZhi-zhong Scienceand Engineering-HenanUniversityofTechnology-Zhengzhou450001-ChinaJ (College?，Materials courseofCVDdiamondfilm is describedin Abstract：Thedevelopment technologybriefly this technicalfeaturesand ofnano diamondfilms paper．The applicationscrystalline ultra-nano diamond sizeCVD crystallinefilms(UNCD)and1arge single (NCD)especially diamondwere ofultra-nano diamondfilmsin crystal introduced．Applicationscrystalline micro-electromechanicalI and systemsMEMS)-electrochemistrybiomedicine，and1arge sizeCVD diamondarethecurrentresearchfoCUSand be singlecrystal hotspots．Tobrief， iS smallersizediamondinthe the ofdiamondstowardthe or fu