一种数字光栅无掩模光刻对准方法_唐路路.pdf

第 卷 第 期 ， ３９ 　 ３ 中 国 激 光 Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．３ 　 　 　 年 月 ， ２０１２ ３ ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＡＳＥＲＳ Ｍａｒｃｈ ２０１２ 　 　 　 　 一种数字光栅无掩模光刻对准方法 ， ， ， １２ １ １２ １ １ １２ 唐路路 胡 松 徐 峰 唐 燕 陈铭勇 朱江平 　 　 　 　 　 　 　 　 １ ， 中国科学院光电技术研究所 四川成都 ６１０２０９ （ ２ ， ） 中国科学院研究生院 北京 １０００４９ （ ） ， ， 摘要 针对数字微反射镜装置 ＤＭＤ 无掩模光刻系统 提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法 将硅片 　 。 的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中 建立了基于ＤＭＤ 的数字光栅无掩模光刻 ， ， 。 ， 对准模型 设计了对准标记以及具体的实现方案 并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证 结果表明 采用频 、 、 ， ； 率可变 图像干净 具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅 真正实现了零掩模成本 并且采用 ， 。 ， 变频率数字光栅可以扩大测量范围 减小位移测量误差 最终可以实现深亚微米的对准精度 满足目前无掩模光 刻对准精度的要求。 ； ； ； ； 关键词 光栅 数字光栅 变频率光栅 无掩模光刻 对准方法 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ４３６．１ Ａ ｄｏｉ １０．３７８８ＣＪＬ２０１２３９．０３１６００２ 　 　　　 　 　　　 Ａ ＤｉｉｔａｌＧｒａｔｉｎ ＢａｓｅｄＡｌｉｎｍｅｎｔＴｅｃｈｎｉｕｅｉｎＭａｓｋｌｅｓｓＬｉｔｈｏ ｒａｈ 　 － － 　 　 　 　 　 ｇ ｇ ｇ ｑ ｇ ｐ ｙ ，