光谱法精密测厚的应用设计.pdfVIP

　　　4 　　　　 《计量与测试技术》2009 年第 3 6 卷第 2 期 光 谱 法 精 密 测 厚 的 应 用 设 计 The Application Design of Precise Measurement Thickness by t he Spectrum Method 赵亿坤 (新疆维吾尔 自治区计量测试研究院 ,新疆 乌鲁木齐 8300 ) 摘 　要 :介绍了利用激光光谱分析法测量介质厚度的一种高精度测量方法 ,与一般的测厚方法不同 ,测量越薄的介质 ,精度越高,并解释了其原理。通过 激光垂直照射平板基体上的介质 ,利用光谱仪分析仪来精确测定相邻带波数差 Δ( / λ) ,利用简洁、方便的检测过程和计算 ,精确地得到介质的厚度。 关键词 :激光光谱 ; 精密检测 ; 厚度 ; 暗波带 ;测量极限 　引言 射 ,另一束从光疏介质反射 ,从而有 附加 的相位 π,故相 随着技术领域 的不断进步 ,对计量检定精度也提 出 消条件为 了很高的要求 ,如何提高几何量参数的检测精度是一个 2 n2 H = mλ (2) 迫于解决的问题 。激光测厚仪广泛应用于介质厚度 的测 在反射光谱中 ,将会 出现许多暗带 ,相邻暗带的波数 量 ,其基本原理是通过激光在介质表面上反射时 , s 、p 两 差为 个分量的振幅和相位 的改变来测定介质 的厚度 ,适用于 Δ( / λ) = (3) 相对较厚的介质 ( 01 mm) ,测量误差 也 比较大 ,精 度 2 n2 H 上还不够理想 ,不能满足在计量检测 中的精度要求 ,如激 Δ( / λ) = | λ - λ| (4) 2 光测厚仪 TO SGA GTM - L D2 50 型的规格 ,对于较薄介质 λ λ 式中 、 分别为相邻的暗带的波长 。 2 厚度的检测则有较大 的困难 。然而 ,激光光谱法应用于 那么 ,从上式可得 在厚度检测中可以进一步提高测量精度 ,不仅可适用于 λλ 2 薄介质厚度的精密检测 ,也可在较厚的透 明平板介质 中 H = 2 n ( λ- λ) (5) 2 2 得以应用 ,是一种简洁 、实用 的光学测厚方法 ,为精密测