平行平晶平面度测量结果的不确定度评定.pdfVIP

于泓等：平行乎晶平面度测量结果的不确定度评定 平行平晶平面度测量结果的不确定度评定 EvaluationofUncertaintyinMeasurementofFlatnessofOpticalFalt 于 泓 孙 鹏 (牡丹江市质量技术监督检验检测中心，黑龙江 牡丹江 157009) 摘 要：本文依据JJG29—2OOO(平晶检定规程》，使用平面等厚干涉仪 ，对平行平晶平面度的不确定度进行了分析，给出了完整的不确定度评定过程，为 平行平晶平面度校准提供了完善的不确定度评定方法。 关键词：平行平晶；平面度；不确定度 1 概述 0．O07mmo 1．1 测量方法 估计， ：15％， 依据JJG29—2000(平晶检定规程》。 1．2 环境条件 (口)的自由度： 温度(2o．4-3)℃，室温变化0．5℃／h。 吉×( 厂 1．3 测量标准 平面等厚干涉仪、二等标准平晶。 (口)--4 (a1)+ (口2)o．009 1．4 测量对象 自自度 一24 第 1系列一第Ⅳ系列平行平晶。 ’ 口1 ～口 十 y 1．5 测量过程 l 2 将被测平晶工作面置于工作台中部，调整仪器使 目 4 输入量 b的标准不确定度u(b)的评定 输入量 b的标准不确定度主要来源是： 镜视场中出现3条黑色干涉条纹。等温后，用 目镜测微 激光平面等厚干涉仪测微 目镜的示值误差 (6t)； 器测得干涉条纹间距 a和干涉条纹弯曲量b，便可计算 弯曲量的测量误差 11,(b2)； 被测平晶工作面的平面度 F。 2 数学模型 二等标准平晶不理想 (b3)； F=(b／a)×(a／2) (b)=~／(b1)+ (b2)u(63) 式中： 一被测平晶工作平面度；口一干涉条纹间距； 4．1测微 目镜示值误差 (b1)的评定 6一通过直径的最大弯曲量；一光源波长。 测量时，将干涉条纹调整为3条，条纹弯曲量 b最大 3 输入量的标准不确定度 (口)的评定 不超过计划 1／3a，其数值不大于O．2mm，根据 JJG336— 输入量的标准不确定度来源，主要是平面等厚干涉 1983((平面等厚干涉仪试行检定规程》，仪器测微 目镜的 仪测微器的示值误差 (口)和干涉条纹间距测量的重复 示值误差在全程 rnnl内不超过0．010ram，包含因子 k= 性 (口2)，采用 B类评定方法进行评定。 √3，(b1)=a／k=O．OlO／43-=0．O06mm 3．1 测微器的示值误差 (口1)的评定 估计： =25％， 测量时，通常将干涉条纹调整为 3条，根据 JJGl100 — 2oo3(平面等厚干涉仪校准规范》，仪器测微 目镜示值 自由度 =1×(