CVD金刚石薄膜热导率的研究.pdfVIP

维普资讯 第 38卷第 2期 理化检验 物理分册 VoL 38 No．2 2002年 2月 PTCA (PART A．PHYSICALTESTIN(；) Feh 2002 CVD金刚石薄膜热导率的研究 陈 灵，黄元盛。邱万奇，划正义，瞿全炎 (华南理工大学机电系，广州 510641) 摘 要：研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒足寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺 陷对金 刚石膜的热导率的影响。鲒果表明，随着晶粒足寸的增大．垒刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大； 随着膜的增厚，热导率先大幅度提高，达到一定值后，变化率变小；晶粒 (111)取向对金刚石膜的热 导率最有利，其次是(1IO)：非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率，但晶问空隙对热导率的影响比 非金刚石