CVD金刚石的形核和生长.pdfVIP

维普资讯 1 —— L———．．_甄圈艮盔 CVD金刚石的形核和生长 黄元盛 邱万奇。罗承萍。陈 灵 (韶关学院机 电系，韶关 512005) (华南理工大学机械工程学院，广州 510640) 摘 要：应用 自制的热解丝CVD装置，研究了在金刚石沉积过程中改变 甲烷浓度对其形核和 生长的影响。结果表明，金刚石形核后，增加 甲烷浓度，仍然可以在硅基底表面继续形成新的晶核。 但是 甲烷浓度 由0．6 逐渐增加到 1．2 时，所得最终形核密度比一开始就将 甲烷浓度设为 1．2 的形核密度低。新晶核比先形成的晶核具有较大的长大速度，随后所有晶核尺寸逐渐趋向相同。 关键词：化学气相沉积；金刚石；形核 中图分类号：TB333 文献标识码：A 文章编号：1001—4012(2006)08—0382—04 NUCLEATION AND GROWTH OFCVDDIAM OND