薄膜几种重要力学性能的评价.pdfVIP

维普资讯 第 39卷第 9期 理化检验一物理分册 VoL 39 N0．9 2003年 9月 PI~A (PART A ：PHYSICALTESTING) Sep．2003 薄膜几种重要力学性能的评价 李家宝，覃 明，马素媛 ，陈昌荣 (中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家 (联合)实验室 ，沈阳 110016) VincentJi (LM3ESACNRS8006，ENSAM ，151Bid．del，HOpital，Paris75013，France) 摘 要：提出了一种利用 X射线应力分析技术和应变电测法测量 附着膜的等效应力——等效 单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法 。利用该方法测得 一种厚度为 2．5m 的TiN 膜的务 件屈服点cr0，