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第2卷第5期 纳米器件与技术 Vo1．2 No．5
2005年 10月 Nanodevice＆ Technology October 2005
图2 在作用力F下微板位移的示意图
a=200nm ，b=175nm ，d=3p,m ，
W=2p,m，h=400nm ，l=2．5p,m
图 1纳米微板谐振器双悬梁支撑结构示意 图 小 ，所 以 sin(1) ，F1 FO。悬梁应变 8：
悬梁的谐振频率 ，可以采用弹性系统的模型 8 ： ： ： 掣
来估计：
／1 一
f 】 ， 、 ≈一一击一l≈—芋一‘ I(5、)l
0 、府 1 ,
所以应力垂直方向分量 F=Eab 。／2，考虑到四
其中k表示弹性系数 ，相当于动力学微分方程的
个支撑悬梁对微板的作用 ，由支撑悬梁长度变化
K．，M表示微板的质量。悬梁结构谐振器在外力的
引起的垂直方 向的回复力F3：
作用下发生位移 ，其运动方程可以用下面的微分
方程表示 】： F3=4×Eab芈 (6)
M8+Kl8+K38。+c8=F(ot) (2)
采用一个近似8= L，代人式(6)，得到：
方程中8表示微板垂直方向的位移 ；第一项表示
加速度。 4 (7)
第二项表示回复力。对于如图1所示的结构， 第四项代表谐振阻尼。在真空环境下的阻尼
每一个支撑悬梁，外界作用力和位移的关系 1： 为 ：
M6oo (8)
(3) c =
其中E表示悬臂材料的杨氏模量；a表示悬梁的 等式右边的项代表外界驱动力。在静电驱动
厚度；b表示悬梁的宽度，L表示悬梁的长度，8 · 中，本质上讲是库仑作用力：
表示悬梁与微板相连一端的位移。微板有4个悬
梁对其进行支撑 ，微板受到的回复力作用力加倍， F(ot)=吉 V( (9)
得到弹性系数K： 当外界驱动电压为叠加在直流偏置上的交流小信
号电压时
K ：4 (4)
F(ot)=1 (VDc+V
oo cos(∞t))：
第三项引入谐振的非线性效应。l(3表示支撑
悬梁长度改变产生的张力。微板发生位移时，支撑 = 吉 (VDC2+2V。VacCOS
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