中国电科成功研制硅片单面化学机械抛光设备.pdfVIP

第 4期 纳 米 科 技 No．4 2011年 8月 Nanoscience Nanotechnology August2011 merJournal，2005，41(4)：88l一888． [5] 蔡祥，颜文艳，谢阿贵，吴婷，谭绍早．季口阳离子改 性蛭石的制备及抗茵性能研究[JJ．材料工程，2010，7： 38- 41． [6] GiannelisEP，KrishnamoortiR，ManiasE．Polymer— silicate nanocomposites：Modelsystems for confined polymersandpolymerbrushesJ【J．Adv．Polym．Sci．， 1999。138：107—147． [7] GiannelisEP．Polymer—layeredsilicatenanocompos— ites：Synthesis，propertiesand applications[J]．App1． Organomet．Chem．，1998，12：675—680． 波 数 ／cm 8【】 GilmanJW，JacksonCL，MorganAB，HarrisR，Ma- 图8 碳化前后红外图对比 niasE，GiannelisE P，Wuthenow M，HiltonD，Phillips SH．FlammabilityPropertiesofPolymer—Layered—Sili— 3 结语 cate Nanocomp0sites：Polypropylene and Polystyrene Nanocomposites[J]．Chem．Mater．，2000，12：1866-1873． 通过超声搅拌的方法，以蔗糖为插层剂对蛭 9【】 SinhaRS，YamadaK，OkamotoM，UedaK．Polylac— 石进行插层，在超声功率为400W条件下，蛭石、 tide-LayeredSilicateNa