纵向驱动MEMS永磁双稳态机构.pdfVIP

维普资讯 第 4期 纳 米 科 技 No．4 20o5年 8月 Nanoscience＆ Technology August 2005 纵向驱动MEMS永磁双稳态机构六 姜 政 丁桂甫 王 艳 顾东华 王志明 冯建智 (上海交通大学微纳科学技术研究院， 上海 200030) 摘 要：在 MEMS继 电器中引入双稳态机构可以有效地减少功耗。在进行理论分析证实可行性和 模拟仿真优化参数后，利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭 摆式 MEMS永磁双稳态机构 。该双稳态结构尺寸为 1．9mm×1．6mm×0．03mm，通过永磁力实现无 功耗姿态保持，对其单侧触点施加纵向驱动力达到 15m的纵向驱动位移可以实现双稳态姿态的 切换 ，控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩。此双稳态机构 可与电磁驱动、电热驱动和静 电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器。 关键词 ：永磁 ；双稳态：MEMS；微继 电器 PerpendicularDrived M EM SPermanentM agnetBistableStructure JIANGZheng DING Gui—fu WANG Yan GU Dong-h·ua WANG Zhi-·ming FENG Jian—-zhi (Micro／nanoSciTecResearchInstitute，ShanghaiJiaotongUniversity， Shanghai 710025， China) Abstract： IntroducingbistablestructureintoMEMSrelaycanremarkablyreducethepowerconsuming．Afterfeasibility analyzingandparameteroptimizing，ateeterboardpattern MEMSpermanentmagnetbistablestructuresupportedbytorsion andcantileverbeam wasfabricatedbysacrificiallayertechnologyofnon—siliconsurfacemicrofabrication．Thesizeofthe bistablesturctureis1．9mm x1．6mm ×0．03mm．Thestablestatescan bekeptwithoutpowerconsumingbypermanent magnetforce，andthetwostatesareswitchedbyaddingperpendiculardrivingforceatonesideoftheanchors toachieve 15Ixmpeprendiculardisplacement．Thedrivingmomentcallbeadjustedbycontrollingthesizesofpermanentmagnet， torsionandcantileverbeam．W ithelectromagnet， electrothemr alandelectrostaticmicroactuators，thisbistablestructure canbeappliedintopermanentmagnetbistableMEMSrelay． Keywords：pemr anentmagnet；bistable；MEMS；microrelay 中图分类号：TN603．5 文献标识码 ：A 文章编号：1812—1918(2005)04—0025—06 0 引言