液体浓度测量FFP传感系统的设计与应用.pdfVIP

维普资讯 第 l3卷第 1期 青 岛 大 学 学 报 VoL．13NO 1 1998年 3月 JOURNALOFQINGDAOUNIVERSITY 液体浓度测量FFP传感系统的设计与应用 ‘ DESIGN AND APPLICATION ON FFP SENSOR TO MEASUREMENTOFLIQUIDC0NCENTRATION 一正彦 TIM ／范延滨 WangZhengyan YuZhenghe FanYanbin (青岛大学 (QingdaoUniversiTy) ，r ) 1 1 IJ f 摘要 分析、设计一种能实现液体浓度高精度 量 Abltract A~lyzed,nddesig．ed ⅡFFP… … 0realize 的FFP传感系统，并给出诫系统用于实际测量系 highlyprecise№ tforliquid~o．cemrafion．and 统中的测量结果及精度分析。 applied itto the realmeasuring By m d gave the 关键词 传感嚣 ·法布里一铂罗标准具 C·CD}测量 measuring BulIB,ndprecisionanalysis Keywlrdl sm l[abyr-Pe~：)t!CCD,mea~．r1．gprecl— 中圈法分类号 收饼。喉…良。佩摄冲】aion 分娄号 TP212 第一作者简开 王正彦，女，讲师 ，1987年毕业于 山东工业大学自动化专业研究生班。现在青岛大学电 气及自动化学院任教，主要从事电于技术及PLC方面的教学与研究。 0 引言 利用光学 中的干涉法进行物理量的测量是已知的最灵敏的测量技术之一，通过光的 干涉把不能直接测量的物理量的变化变为可测的稳定的图样，通过检测干涉条纹的变化， 实现对待测的物理量的测量及跟踪。 笔者设计了一种利用干涉法测量液体浓度的传感系统——FFP(FiSerFabty-Perot) 传感系统，该系统具有如下特点；①、首次采用法布里一珀罗标准具作为液体浓度测量的干 涉系统，实现光学高精度测量，干涉条纹细锐、清晰、易测量，每变化一个条纹对应折射率 变化约为 1．6×10 浓度变化约为0．03 。②、采用石英光纤作为传光系统，将He．Ne 激光器与测量现场隔离，实现了不带电测量，因此适于易燃易爆等场合测量。③、FFP传 感系统为光学系统，具有抗电磁干扰、耐腐蚀等优点。③ 采用CCD(ChargeCoupleDe． vice)作为干涉条纹检测系统，甩CCD象元作为检测单位，对币涉条纹的移动进行量化， 测量精度可提高 l～2个数量级，本设计中选用DL40×256线阵CCD测量精度理论上约 可提高一个数量级。 。盘蠢軎菇专饕羞等助嘎目编号蚰。 一 24 — 维普资讯 王正彦等：液体浓度测量FFP传感系统的设计与应用 1 FFP传感系统工作原理 台器 1．1 FFP传感系统的整体框图 光纤传感器 由激光 器、耦合器、光纤、耦台 支架、F—P腔、照相镜 头、CCD耦合器等部分 组成 ，见图 i。 圉1 光纤传感器的结构与组成 i．2 选件与设计 F—P腔 ：F—P腔的设计结构如图2 所示 。图中， 一10mm， =6mm， = 30 mm ， = 20 mm ，h1— 20 mm，h2—5mm，ha=5mm。A、B为 两镀膜反射面 ，反射系数为0．90～ 0．95，平行度为 (1／5～1／lO)k，平面度 为(1／2O～1／40)，石英玻璃的接触面 均为无填料的光胶面。在加工过程中 应注意：反射系效、平行度、平面度必 圉2